技术编号:6903038
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明有关于一种主动元件阵列基板的制造方法,且特别有关于一种薄膜晶 体管阵列基板的制造方法。背景技术由于低温多晶硅薄膜晶体管(low temperature poly-silicon thin film transistor, LTPS TFT)克服了电子迁移率的问题,而且,更提供了互补式 (complementary)电路技术。因此,低温多晶硅薄膜晶体管在元件縮小化、面板 开口率、画面品质与解析度上都有极大的优势。除此之外,目前低温多晶硅薄膜晶 体管的设...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。