技术编号：6904404
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于形成铁电体膜的方法，所述铁电体膜含有PZT 类钙钛矿型氧化物。本发明也涉及通过所述用于形成铁电体膜的方法获得 的铁电体膜。本发明还涉及包含该铁电体膜的铁电体器件，以及使用该铁 电体器件的液体排出装置。背景技术迄今为止，压电器件已经用于诸如安装在喷墨式记录头上的致动器的 用途，所述压电器件配置有压电体和用于跨过压电体施加电场的电极，所 述压电体具有压电特性，使得压电体根据跨过压电体施加电场的增强和降 低而膨胀和收缩。作为压电体材料，迄今为止...
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