技术编号：6907148
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是关于一种晶圆(Wafer Frame)固定装置，特别是关于一种用于固定一子母环(Double Ring)的晶圆固定装置。背景技术请参考图1，现有的晶圆固定装置100包括一环型压板101、以及一承载板102。其中，环型压板101上具有多个簧片103、以及多个螺丝104。环型压板101可通过簧片103、 以及螺丝，利用螺丝104旋入或旋出位于承载座102背面的螺丝孔洞，使环型压板101与承载板102紧压或松脱，并通过簧片103将一子母环10固定或分...
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