专利名称：晶圆固定装置的制作方法
技术领域：
本实用新型是关于一种晶圆(Wafer Frame)固定装置，特别是关于一种用于固定一子母环(Double Ring)的晶圆固定装置。
背景技术：
请参考图1，现有的晶圆固定装置100包括一环型压板101、以及一承载板102。其中，环型压板101上具有多个簧片103、以及多个螺丝104。环型压板101可通过簧片103、 以及螺丝，利用螺丝104旋入或旋出位于承载座102背面的螺丝孔洞，使环型压板101与承载板102紧压或松脱，并通过簧片103将一子母环10固定或分离于承载座102。但由于使用者对子母环10固定与拆卸时，需逐一针对螺丝104进行旋入或旋出的动作，使子母环10能与晶圆固定装置100进行固定与分离，且子母环10固定在晶圆固定装置100时，螺丝104需先对准承载板102背面的螺丝孔洞，如此一来，相当浪费时间与人力。
实用新型内容因此，为了解决上述问题，本实用新型的目的之一，是在提供一种晶圆固定装置， 可节省操作时间。本实用新型的目的之一，是在提供一种晶圆固定装置，可节省操作的人力。本实用新型的一实施例提供了一种晶圆固定装置，晶圆固定装置包括一承载板、 以及一压板。承载板，具有一圆形穿孔；压板，为一环体，压板固定于承载板的位置对应圆形穿孔；其中，承载板与压板至少其一具有磁性，承载板与该压板利用磁力吸附固定。本实用新型的一实施例提供了一种晶圆固定装置，包括一承载板、一压板、以及一固定条。承载板，具有一圆形穿孔；压板，为一环体，压板固定于承载板的位置对应圆形穿孔；固定条，具有一固定凸部；其中，当压板固定于承载板的位置对应圆形穿孔时，固定凸部抵靠该压板，使该压板能装设于该承载板的一预设位置。本实用新型的有益效果在于，由于本实用新型的晶圆固定装置的承载板与压板至少其一具有磁性，使承载板与压板至少其一能利用磁力进行吸附，使压板能迅速固定于承载板，再利用定位柱、定位槽、或枢纽的设计，节省使用者的时间与人力。
图1显示先前技术的晶圆固定装置的示意图。图2A显示本实用新型一实施例的晶圆固定装置的示意图。图2B显示本实用新型一实施例的压板示意图。图2C显示本实用新型一实施例的定位柱与定位槽的局部放大图。图3显示本实用新型一实施例的晶圆固定装置的示意图。图4显示本实用新型一实施例的晶圆固定装置的示意图。图5显示本实用新型一实施例的晶圆固定装置示意图。[0016]图6A显示本实用新型一实施例的晶圆固定装置示意图。图6B显示本实用新型于图6A中A、B、以及C三点的侧视图。附图标号100、200、300、400 晶圆固定装置102、201、401、501、601 承载板103 簧片201a 定位柱101、202、302、402、502、602 压板202a磁性元件202b 定位槽203,41a 固定元件203a 螺丝20 拆卸口30、31 子压板41、63 枢纽0圆形穿孔10、204 子母环61 固定条61a 固定凸部64 固定元件
具体实施方式
请参阅图2A，图2A显示本实用新型一实施例的晶圆固定装置示意图，晶圆固定装置200包括一承载板201、以及一压板202。承载板201具有一圆形穿孔0，压板202为一环体，压板202固定于承载板201的位置对应圆形穿孔0，且环体的大小对应圆形穿孔0，其中，承载板201与压板202至少其一具有磁性，承载板201与压板202至少其一利用磁力进行吸附，使压板202固定于承载板 201。请同时参阅图2B，图2B显示本实用新型一实施例的压板示意图，在本实施例中， 圆形穿孔0为一正圆形，压板202的环体为一正圆形的环体，且压板202等距设有多个磁性元件20 ，本实用新型不应以此为限，可视使用者需求调整磁性元件20 位置与数量，另外，磁性元件20 等距设置于压板202的环体，其中磁性元件20 可为一磁铁所实现。在此请注意，请同时参阅图2C，图2C显示本实用新型一实施例的定位柱与定位槽的局部放大图，承载板201上设置有至少一定位柱201a，在一实施例中，定位柱201a垂直设置于承载板201的上表面，相对应地，压板202的环体上设置有至少一定位槽202b。在本实施例中，定位槽202b为半圆圆柱型的沟槽，定位柱201a为一圆柱体。在此请注意，定位槽202b设置于压板202的环体的外径与内径之间，且定位柱 201a不限于圆柱体，亦可由可各种柱体所实现，且定位槽202b的形状能与定位柱201a相嵌
I=I O[0041]其中，定位柱201a与定位槽202b的位置与数目为相对应，定位槽202b用以导引定位柱201a，让使用者能更快速地与精确地使承载板201与压板202相结合，并使压板202 能装设于承载板装201的一预设位置。在一实施例中，晶圆固定装置200具有一固定元件203，固定元件203等距分设于压板202上，但本实用新型不应以此为限，可视使用者需求增减固定元件203或调整固定元件203的位置。其中，固定元件203 —端垂直于压板202的环体，当用以固定一子母环 (Double Ring) 204时，，固定元件203另一端横向跨越子母环204的环体，故子母环204被固定元件203固定于承载板201，且压板202的环体的外径大于子母环，子母环204的水平移动范围被限制于压板202之内。在此请注意，固定元件203可为一簧片所实现，且在一实施例中，固定元件203与压板202为一体成型的结构，本实用新型不应以此为限。换言之，通过定位槽202b与定位柱201a，当压板202利用磁力进行吸附并固定于承载板201时，定位柱201a与定位槽202b为相嵌合，故，当子母环204固定于晶圆固定装置200时，由定位槽202b导引定位柱201a，可节省先前技术中螺丝需先对准承载座102的螺丝孔洞所耗费的时间，故使用者直接旋入或旋出固定元件203上的螺丝203a，即可固定或松脱子母环204于晶圆固定装置200。另外，本实用新型的承载板201更包括两个拆卸口 20，拆卸口 20分设于承载板 201上，为椭圆形凹口，当压板202利用磁力进行吸附并固定于承载板201时，压板202的外缘与拆卸口 20部份重叠，供使用者利用双手或其他机械，通过拆卸口 20将压板202自承载板201拆卸。在此请注意，于另一实施例中，承载板201上设置有至少一定位槽202b，相对应地，压板202的环体上设置有至少一定位柱201a，且定位柱201a垂直设置于压板202的下表面(图未示)，其中下表面为压板202固定于于承载板201时的接触面，其余原理与前述相同，在此不另行赘述。请参阅图3，图3显示本实用新型一实施例的晶圆固定装置示意图，晶圆固定装置 300与晶圆固定装置200差异在于，压板302可由两个子压板30、31组合而成，换言之，子压板30与31为半圆形，子压板30与31组合后为一正圆形的压板302，其余原理与前述相同，为求简洁不再另行赘述。请参阅图4，图4显示本实用新型一实施例的晶圆固定装置示意图，晶圆固定装置 400包括一承载板401、以及一压板402。承载板401具有一圆形穿孔0，压板402为一环体，且环体的大小对应圆形穿孔0， 其中，承载板401具有磁性，使承载板401与压板402能进行磁力吸附，故压板402能通过磁力固定于承载板401。在本实施例中，圆形穿孔0为一正圆形，压板402的环体为一正圆形的环体，且承载板401包括一枢纽41，且枢钮41具有磁性，枢钮41利用磁力进行吸附并固定于承载板 401。在一实施例中，枢钮41包括一固定元件41a，当枢钮41利用磁力进行吸附并固定于承载板401时，固定元件41a垂直并紧压于压板402的环体，用以固定一子母环(图未示)。当使用者欲松脱子母环，可旋转枢钮41，使枢钮41与承载板401分开，故固定元件 41a可松脱压板402的环体。[0051]换言之，通过枢钮41的磁性，使压板402利用磁力进行吸附并固定于承载板401， 节省先前技术中螺丝需先对准承载座102的螺丝孔洞所耗费的时间，故使用者直接旋入或旋出固定元件41a上的螺丝(图未示)，即可固定或松脱子母环于晶圆固定装置400。请参阅图5，图5显示本实用新型一实施例的晶圆固定装置示意图，晶圆固定装置 500与晶圆固定装置400的差异在于晶圆固定装置500的压板502具有磁性，于一实施例中，晶圆固定装置500的承载板501不具磁性，承载板501具有一枢纽51与一固定元件52。当压板502通过旋转枢纽51，将压板502于承载板501接触，此时压板502利用磁力进行吸附，使压板502固定于承载板501。此时使用者再利用固定元件52，使固定元件 52垂直于压板502的环体，让子母环504固定于晶圆固定装置500，其余操作原理与前述相同，在此不另行赘述。请参阅图6A，图6A显示本实用新型一实施例的晶圆固定装置示意图，晶圆固定装置600包括一承载板、一压板、以及一固定条。承载板601具有一圆形穿孔0，压板602为一环体，且压板602固定于承载板601的位置对应圆形穿孔0，且环体的大小对应圆形穿孔0。在此请注意，请同时参阅图6B，图6B显示本实用新型于图6A中A、B、以及C三点的侧视图，本实施例中，晶圆固定装置600具有两条固定条61，且分别设置于承载板601的两侧边，固定条61分别具有一固定凸部61a。固定条61 —端连接一枢纽63，固定条61通过旋转枢纽63，使固定条61接触或远离压板602，换言之，使用者通过旋转枢纽63，可以始晶圆固定装置600松脱或固定压板602 于承载板601。在一实施例中，枢纽63可为一弹性构件所实现，例如弹簧。其中，当压板602固定于承载板的位置并对应圆形穿孔时，固定凸部61a抵靠压板 602，使压板602能装设于该承载板的一预设位置，且固定凸部61a的顶端(B点)为抵靠于子母环204，故由图6B可以了解，固定凸部61a的B点于侧视图中的高度低于A点、或C点。另外，承载板601具有一固定元件64，当压板602固定于承载板602的预设位置时，固定元件64可将固定条61的另一端固定，使固定条61在一预设空间内移动，如此一来可避免压板602脱离承载板601。综上所述，由于承载板与压板至少其一具有磁性，使承载板与压板至少其一能利用磁力进行吸附，使压板能迅速固定于承载板，再利用定位柱、定位槽、或枢纽的设计，节省使用者的时间与人力。
权利要求1.一种晶圆固定装置，其特征在于，所述晶圆固定装置包括一承载板，具有一圆形穿孔；以及一压板，为一环体，所述压板固定于所述承载板的位置对应所述圆形穿孔；其中，所述承载板与所述压板至少其一具有磁性，所述承载板与所述压板利用磁力吸附固定。
2.如权利要求1所述的晶圆固定装置，其特征在于，所述承载板设置有至少一定位柱， 所述定位柱垂直设于所述承载板的一表面。
3.如权利要求2所述的晶圆固定装置，其特征在于，所述环体上设有至少一定位槽，用以导引所述定位柱，使所述压板能装设于所述承载板的一预设位置。
4.如权利要求1所述的晶圆固定装置，其特征在于，所述环体设置有至少一定位柱，所述定位柱垂直设于所述环体的一表面。
5.如权利要求4所述的晶圆固定装置，其特征在于，所述承载板上设有至少一定位槽， 用以导引所述定位柱，使所述压板能装设于所述承载板的一预设位置。
6.如权利要求1所述的晶圆固定装置，其特征在于，用以置放一子母环，且所述环体的外径大于所述子母环。
7.如权利要求6所述的晶圆固定装置，其特征在于，所述晶圆固定装置具有一固定元件，所述固定元件垂直于所述环体，使所述子母环固定于所述晶圆固定装置。
8.如权利要求7所述的晶圆固定装置，其特征在于，所述承载板包括一枢纽，所述承载板利用所述枢纽与所述压板连接，且所述晶圆固定装置通过旋转枢纽，使所述压板接触或远离于所述承载板；所述承载板包括一固定元件，当所述压板利用磁力进行吸附并固定于所述承载板时，所述固定元件一端垂直于所述环体，所述固定元件另一端用以固定一子母环。
9.如权利要求1所述的晶圆固定装置，其特征在于，所述承载板包括一枢纽，且所述枢钮具有磁性，所述枢钮利用磁力进行吸附并固定于所述承载板；所述枢钮包括一固定元件， 当所述枢钮利用磁力进行吸附并固定于所述承载板时，所述固定元件一端垂直于所述环体，所述固定元件另一端用以固定一子母环。
10.一种晶圆固定装置，其特征在于，所述晶圆固定装置包括一承载板，具有一圆形穿孔；一压板，为一环体，所述压板固定于所述承载板的位置对应所述圆形穿孔；以及一固定条，具有一固定凸部；其中，当所述压板固定于承载板的位置对应圆形穿孔时，所述固定凸部抵靠所述压板， 使所述压板能固定于所述承载板的一预设位置。
专利摘要本实用新型例提供一种晶圆固定装置，晶圆固定装置包括一承载板、以及一压板。承载板，具有一圆形穿孔；压板，为一环体，压板固定于承载板的位置对应圆形穿孔；其中，承载板与压板至少其一具有磁性，承载板与该压板利用磁力吸附固定。
文档编号H01L21/68GK202189772SQ20112026875
公开日2012年4月11日 申请日期2011年7月27日 优先权日2011年7月27日
发明者雷清龚 申请人:宸轩科技有限公司