技术编号:6910390
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体制造领域的制程腔室(chamber),尤其涉及一种制 程腔室上的连接装置。背景技术制程腔体是半导体器件制造领域的重要设备,其用于淀积、干法蚀刻等等 工艺中。在晶圓的各种处理工艺中,制程腔体的内壁上会粘上很多淀积物。为 了避免这些淀积物脱落对晶圓表面的影响,需要定期对制程腔体内壁上进行清 洗。但是有的时候,当清洗完毕将各部件安装后,制程腔体的电源环路仍然不 通。检验后发现,导致电源环路发生断路的原因是连接电源线和等离子产生源 的连接装置出...
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