技术编号:6910978
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,特别涉及一种包括集成注入逻辑电路(I2L)的互补双极晶体管。背景技术 在很多领域中,人们要求把众多半导体器件集成在一张芯片中。为了把这些器件集成在芯片上需要很多复杂的工艺,因此,出现了许多问题。例如,多晶硅电阻器中的电阻率不均匀,即,电阻器中的杂质分布不均匀。这是因为,每当完成对多晶硅电阻器的掺杂,都要经历多次离子注入步骤和驱进步骤。在顺序进行离子注入步骤和驱进步骤中,多晶硅电阻器中的杂质不均匀地再次分布。此外,由于形成多个多晶硅电阻器后,分别...
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