技术编号:6914011
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种升降结构改良,特别是涉及一种可达到易于置放 及拿取晶圆的功效的升降结构改良。背景技术一般现有习用的晶圆置放架,其是包含有一底框架、多数设置于底框架各侧边的支柱、及一活动叠设于底框架一面上且周缘设有缺口的承板;当使用时,可将该底框架架设于一致动机构上,而当欲进行晶圓置放 时,是利用致动机构的推杆通过底框架向上顶推该承板,使该承板往上升 起,待承板上升至预定高度后,则可吸附晶圓,并逐一层叠置放于承板的一 面上,再依据晶圆的放置数目逐渐降低推杆...
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