专利名称：升降结构改良的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种升降结构改良，特别是涉及一种可达到易于置放 及拿取晶圆的功效的升降结构改良。
背景技术：
一般现有习用的晶圆置放架，其是包含有一底框架、多数设置于底框架
各侧边的支柱、及一活动叠设于底框架一面上且周缘设有缺口的承板；
当使用时，可将该底框架架设于一致动机构上，而当欲进行晶圓置放 时，是利用致动机构的推杆通过底框架向上顶推该承板，使该承板往上升 起，待承板上升至预定高度后，则可吸附晶圓，并逐一层叠置放于承板的一 面上，再依据晶圆的放置数目逐渐降低推杆，而让承板下降，让各晶圓叠 设于承板的一面上，并限位于各支柱之间达到储放晶圆的动作；若各晶圆 储放至欲定数量而欲取出进行后段制程时，则以人工方式在各支柱间配合 承板周缘的各缺口，由下往上抬高承板，藉以将晶圆取出移至后段制程。
而由于该承板置放晶圆后与底框架叠设时，会因为晶圆的重量而使承 板与底框架之间并无空隙，因此，当与取出晶圓时，较不易将承板抬高，且 由于各支柱是固设于底框架的各侧边无法移动，所以，使各支柱易形成干 涉，让作业人员在抬高承板时较不易施力，而容易造成有施力不均使承板产 生歪斜，导致设置于承板上的晶圆在取出的过程中有磨损的情形发生。
由此可见，上述现有的晶圆置放架在结构与使用上，显然仍存在有不 便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决上述存在的问题，相关厂商 莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完 成，而一般产品又没有适切结构能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲 解决的问题。因此如何能创设一种新型的升降结构改良，实属当前重要研发 课题之一，亦成为当前业界极需改进的目标。
有鉴于上述现有的晶圓置放架存在的缺陷，本发明人基于从事此类产 品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加 以研究创新，以期创设一种新型的升降结构改良，能够改进一般现有的晶 圓置放架，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经过反复试作样 品及改进后，终于创设出确具实用价值的本实用新型。
发明内容本实用新型的主要目的在于，克服现有的晶圆置放架存在的缺陷，而提 供一种新型的升降结构改良，所要解决的技术问题是使其可带动活动座的
升降使晶圓置放于承板上，并在取用晶圓时，开启第一、二 L型板进行承
板与晶圓的拿取，而达到易于置放及拿取晶圆的功效，非常适于实用。 本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现
的。依据本实用新型提出的一种升降结构改良，其包括有 一底座，其中央 处是设置一穿孔，且该底座的一侧是活动设有一固定杆； 一限位单元，是设 置于底座的一面上，其包含一结合于底座上的座体，该座体上是具有一与 穿孔对应的对应孔，且座体相邻的二侧是活动设有一笫一L型板，该第一L 型板的一侧缘是具有一与固定杆嵌接的嵌接部，并在该座体相邻的另外二 侧与第一 L型板外侧分别设置至少二支柱，各支柱的二端是分别设置一滚 轮，该二滚轮上是环设有一传动件； 一活动座，是活动设置于限位单元一面 上，其包含一层叠于座体上的载板，该载板相邻的二侧是活动设有一第二 L 型板，且该载板相邻的另外二侧与第二 L型板外侧分别结合于传动件上；以 及一承板，是层叠于载板的一面上。
本实用新型的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施来进一步 实现。
前述的升降结构改良，其中所述的限位单元的座体是配合多数固定组 件与底座结合。
前述的升降结构改良，其中所述的座体相邻的另外二侧与第一 L型板外 侧是分别设有置至少二缺口 ，而所述的支柱是分别配合固定组件固设于各 缺口中。
前述的升降结构改良，其中所述的座体的一侧是具有一延伸部，而所述 第一 L型板是配合一轴体与延伸部活动结合。
前述的升降结构改良，其中所述的传动件可为一履带。
前述的升降结构改良，其中所述的载板相邻的另外二侧与第二 L型板 外侧是分别配合固定组件结合于传动件上。
前述的升降结构改良，其中所述的载板的一侧是具有一延伸部，而所述 第二 L型板是配合一轴体与延伸部活动结合。
本实用新型与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。经由以上可 知，为了达到上述目的，本实用新型4是供了一种升降结构改良，包含有一中 央处具有穿孔且一侧设有固定杆的底座； 一设置于底座上的限位单元，其包 含一与底座结合的座体，该座体上具有与穿孔对应的对应孔，且座体相邻 的二侧是活动设有一第一 L型板,该第一 L型板的一侧缘是具有一与固定杆 嵌接的嵌接部，并在座体相邻的另外二侧与第一 L型板外侧分别设置至少二
支柱，各支柱的二端是分别设置一滚轮，该二滚轮上是环设有一传动件；一
4活动设置于限位单元上的活动座，其包含一层叠于座体上的载板，该载板相
邻的二侧是活动设有一第二 L型板，且该载板相邻的另外二侧与第二 L型 板外侧是分别结合于传动件上；以及一层叠于载板上的承板。
借由上述技术方案，本实用新型升降结构改良至少具有下列优点及有 益效果本实用新型可以有效的改善现有习用升降结构改良存在的种种缺 点，可以带动活动座的升降使晶圆置放于承板上，并在取用晶圆时，开启第 一、二 L型板进行承板与晶圓的拿取，而达到易于置放以及拿取晶圓的功 效，进而使本实用新型具有技术更进步、更实用、更符合使用者所需的功效。
综上所述，本实用新型是一种升降结构改良，包含一具有穿孔及固定 杆的底座； 一设置于底座上具有座体的限位单元，该座体具有对应穿孔的 对应孔，且座体相邻二侧设有第一L型板，该第一L型板具有对应固定杆 的嵌接部，而座体另外相邻二侧与第一 L型板外侧设置具有滚轮与传动件 的支柱； 一设置于座体上具有载板的活动座，该载板相邻二侧设有第二 L 型板，且载板另外相邻二侧与第二 L型板外侧结合传动件；以及一设置于载 板上的承板。藉此，可带动活动座的升降使晶圆置放于承板上，并在取用 晶圓时，开启第一、二 L型板进行承板与晶圆的拿取，而达到易于置放及 拿取晶圆的功效。本实用新型具有上述优点及实用价值，其不论在产品结 构或功能上皆有较大改进，在技术上有显著的进步，并产生了好用及实用的 效果，且较现有的晶圓置放架具有增进的突出功效，从而更加适于实用，诚 为一新颖、进步、实用的新设计。
上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实 用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用 新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施 例，并配合附图，详细说明如下。
图l是本实用新型的分解立体示意图。 图2是本实用新型的外观立体示意图。 图3是本实用新型的剖面状态示意图。 图4是本实用新型的使用状态剖面示意图。 图5是本实用新型设置晶圆后的示意图。 图6是本实用新型欲拿取晶圆的示意图。 1: 底座 11:穿孔
12:固定杆 2: 限位单元
21:座体 211:固定组件
212:延伸部 213:对应孔214:缺口223:缺口
22:第一L型板221:轴体
222:嵌接部23:支柱
231:固定组件232:滚轮
233:传动件3:活动座
31:载板311:延伸部
312:固定组件32:第二L型板
321:轴体4:承板
5:致动4几构51:推杆
6:晶圆
具体实施方式
为更进一步阐述本实用新型为达成预定发明目的所采取的技术手段及 功效，
以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型提出的升降结构改良 其具体实施方式
、结构、特征及其功效，详细说明如后。
有关本实用新型的前述及其他技术内容、特点及功效，在以下配合参阅 图式的较佳实施例的详细说明中将可清楚的呈现。通过具体实施方式
的说
加深一入口且具体1々了解，然而所附图式仅是提供参考与说明之用，并非用来对 本实用新型加以限制。
请参阅图1、图2及图3所示，其中图l是本实用新型的分解立体示意 图、图2是本实用新型的外观立体示意图及图3是本实用新型的剖面状态 示意图。本实用新型的较佳实施例的一种升降结构改良，其至少是由一底座 1、 一限位单元2、 一活动座3以及一承板4所构成。
上述的底座1,其中央处是设置一穿孔11，且该底座1的一侧是活动设 有一固定杆12。
上述的限位单元2，是设置于底座1的一面上，其包含一配合多数固定组 件211结合于底座1上的座体21,该座体21的一侧是具有一延伸部212，且 该座体21上是具有一与穿孔11对应的对应孔213，而座体21相邻的二侧 是活动设有一第一 L型板22，该第一 L型板22是配合一轴体221与延伸部 212活动结合，且该第一 L型板22的一侧缘是具有一与固定杆l2嵌接的嵌 接部222，而在该座体21相邻的另外二侧与第一 L型板22外侧分别设有置 至少二缺口 214、 223，各缺口 214、 223中分别配合固定组件固231设有至 少二支柱23,各支柱23的二端分别设置一滚轮232，该二滚轮232上环设 有一传动件233,而该传动件233可为一履带。
上述的活动座3,是活动设置于限位单元2—面上，其包含一层叠于座体
621上的载板31，该载板31的一側具有一延伸部311,且该载板31相邻的二 侧活动设有一第二 L型板32,该第二 L型板32是配合一轴体321与延伸部 311活动结合，且该载板31相邻的另外二侧与第二 L型板32外侧分别配合 固定组件312结合于传动件233上。
上述的承板4,是层叠于载板31的一面上。如此，藉由上述的结构构成 一全新的升降结构改良。
请参阅图4、图5及图6所示，其中图4是本实用新型的使用状态剖面 示意图、图5是本实用新型设置晶圓后的示意图及图6是本实用新型欲拿 取晶圆的示意图。当本实用新型在运用时，可以配合一致动机构5进行使 用，使该底座1架设于致动机构5上，而当欲进行晶圆6置放时，是利用致 动机构5的推杆51通过底座1与座体21的穿孔11及对应孔213向上顶推 该活动座3的载板31,使该活动座3连同承板4往上升起，待活动座3及 承板4上升至预定高度后，则可吸附晶圆6，并逐一层叠置放于承板4的一 面上，再依据晶圓6的放置数目逐渐降低推杆51，而让活动座3连同承板 4下降，让各晶圆6叠设于承板4的一面上，并限位于各支柱23之间，而当 该载板31因推杆51的作动而上升或下降时，是可利用各支柱23的传动件 233配合滚轮232的连动，而使活动座3的上升或下降较为顺畅，而让各晶圓 6达到易于置ii的功效；
若各晶圓6储放至欲定数量而欲取出进行后段制程时，是扳动该底座1 上的固定杆12,使该固定杆12移开第一 L型板22侧缘的嵌接部"2，之后 将第一 L型板22往一侧移动，并同时使第一 L型板"上的各支柱"连动 第二L型板32,使该第一L型板22、第二L型板32及各支柱23离开各晶 圆6的侧缘不再形成限位，此时，即可配合移动承板4进行取出各晶圓6 的动作，而达到易于置放及拿取晶圆6的功效。
当然本实用新型在实际运用时，亦可先行将第一L型板22、第二L型 板32及各支柱23往一侧移开，使各晶圓6在进行所需制程之后，分别将 各晶圆6叠设于承板4上，待承板4上叠设预定数量的晶圓6后，并将承 板4连同晶圓6置放于活动座3的载板31上，再将第一 L型板22及第二 L 型板32往底座1与载板31的方向移动，利用第一 L型板22的嵌接部222 与底座1的固定杆12嵌接，而使各晶圆6限位于各支柱23之间，而达到储 ;改的功岁文。
综上所述，本实用新型升降结构改良可以有效改善现有习用的种种缺 点，可以带动活动座的升降使晶圆置放于承板上，并在取用晶圆时，开启第 一及第二 L型板进行承板与晶圆的拿取，而达到易于置放及拿取晶圓的功 效，进而使本实用新型的产生能更进步、更实用、更符合使用者的所须。
以上所述,仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以 限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员在不脱离本实用新型技术方 案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化 的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新 型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属 于本实用新型技术方案的范围内。
权利要求1、一种升降结构改良，其特征在于其包括有一底座，其中央处是设置一穿孔，且该底座的一侧是活动设有一固定杆；一限位单元，设置于底座的一面上，其包含一结合于底座上的座体，该座体上是具有一与穿孔对应的对应孔，且座体相邻的二侧是活动设有一第一L型板，该第一L型板的一侧缘是具有一与固定杆嵌接的嵌接部，并在该座体相邻的另外二侧与第一L型板外侧分别设置至少二支柱，各支柱的二端是分别设置一滚轮，该二滚轮上是环设有一传动件；一活动座，是活动设置于限位单元一面上，其包含一层叠于座体上的载板，该载板相邻的二侧是活动设有一第二L型板，且该载板相邻的另外二侧与第二L型板外侧是分别结合于传动件上；以及一承板，是层叠于载板的一面上。
2、 根据权利要求1所述的升降结构改良，其特征在于其中所述的限位 单元的座体是配合多数固定组件与底座结合。
3、 根据权利要求1所述的升降结构改良，其特征在于其中所述的座体 相邻的另外二侧与第一 L型板外侧是分别设有至少二缺口 ，而所述的支柱是 分别配合固定组件固设于各缺口中。
4、 根据权利要求1所述的升降结构改良，其特征在于其中所述的座体 的一侧是具有一延伸部，而所述第一 L型+反是配合一轴体与延伸部活动结 合。
5、 根据权利要求1所述的升降结构改良，其特征在于其中所述的传动 件为一履带。
6、 根据权利要求1所述的升降结构改良，其特征在于其中所述的载板 相邻的另外二侧与第二 L型板外侧是分别配合固定组件结合于传动件上。
7、 根据权利要求1所述的升降结构改良，其特征在于其中所述的载板 的一侧是具有一延伸部，而所述第二 L型板是配合一轴体与延伸部活动结 合。
专利摘要本实用新型是有关于一种升降结构改良，包括一底座，中央设置一穿孔，一侧活动设有一固定杆；一限位单元，设置于底座上，包含一座体，座体上具有与穿孔对应的对应孔，座体相邻二侧设有第一L型板，第一L型板具有与固定杆嵌接的嵌接部，座体相邻另外二侧与第一L型板外侧分别设置至少二支柱，各支柱分别设置一滚轮，滚轮上设有传动件；一活动座，设置于限位单元上，包含层叠于座体上的载板，载板相邻二侧设有第二L型板，载板相邻另外二侧与第二L型板外侧分别结合传动件；以及一承板，层叠于载板上。藉此，可带动活动座的升降使晶圆置放于承板上，并在取用晶圆时，开启第一、二L型板进行承板与晶圆的拿取，而达到易于置放及拿取晶圆的功效。
文档编号H01L21/673GK201274288SQ20082012628
公开日2009年7月15日 申请日期2008年8月22日 优先权日2008年8月22日
发明者周士杰 申请人:可士达科技有限公司