技术编号:6917304
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是涉及一种晶圆盒底座,特别是涉及一种通过至少一标示部显 示底座与盒罩是否确实固定与密封,以免晶圆被污染或者损坏的晶圆盒底座。背景技术为避免晶圆在运送过程中受到污染及碰撞, 一般会利用一可运送及可密封 的晶圆盒来放置及运送晶圆。请参考图l所示,其揭示一种现有的晶圆盒,其包含一盒罩A、 一晶 圆放置架B及一晶圆盒底座C。所述晶圆盒底座C具有一本体91,所述本体 91为一内部中空的盒体,其内部设有一闩锁机构92,其底部设有一底板93。 所述盒罩A为一透...
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