专利名称：晶圆盒底座的制作方法
技术领域：
本实用新型是涉及一种晶圆盒底座，特别是涉及一种通过至少一标示部显 示底座与盒罩是否确实固定与密封，以免晶圆被污染或者损坏的晶圆盒底座。
背景技术：
为避免晶圆在运送过程中受到污染及碰撞， 一般会利用一可运送及可密封 的晶圆盒来放置及运送晶圆。
请参考图l所示，其揭示一种现有的晶圆盒，其包含一盒罩A、 一晶 圆放置架B及一晶圆盒底座C。所述晶圆盒底座C具有一本体91，所述本体 91为一内部中空的盒体，其内部设有一闩锁机构92，其底部设有一底板93。 所述盒罩A为一透明材质的盒罩A，其套设于所述本体91上形成容置空间。 所述晶圆放置架B设于所述本体91的顶面，用以承载复多个晶圆(未绘示)。
如图1所示，所述闩锁机构92包含一转动开关921及二对称设置的闩锁 板922。所述转动开关921设有一枢接孔921a、二凸轮921b及二驱动销孔921c。 所述枢接孔921a设于所述转动开关921的中心，所述二凸轮921b是对称的设 在所述枢接孔921a的两侧，所述二驱动销孔921c分别是为一盲孔，设于所述 转动开关921的底部，且分别伸入所述二凸轮921b的内部。所述闩锁板922 设有一抵接边922a及二卡掣部922b。
如图1所示，所述本体91内部中央设有一枢接座911，所述底板93中央 设有一轴孔931， 一枢接件a从底部向上依序穿过所述底板93的轴孔931、所 述转动开关921的枢接孔921a及所述本体91的枢接座911。所述底板93进一步设有二弧型孔932，以供一外部的驱动装置(未绘示)穿过所述二弧型孔932 而插设于所述转动开关921的所述二驱动销孔921c内，以便控制所述转动开 关921做一限定角度的转动，所述闩锁机构92具有一缩入位置(解锁状态)及一 伸出位置(扣锁状态)。
请再参考图1所示，所述闩锁机构92的所述二闩锁板922是对称的设于 所述转动开关921的两侧，受到弹性件(未绘示)的作用，所述抵接边922a是保 持抵接于所述转动开关921的凸轮921b上。另外，相对于所述卡掣部922的 位置，所述本体91二相对的侧面共开设有四开口912。当所述闩锁机构92处 于解锁状态时，每一所述卡掣部922b会位于所述本体91的每一所述开口 912 的内部；当转动开关921受外部驱动做一限定角度的转动时，所述凸轮921b 抵接所述闩锁板922的抵接边922a，以推动所述二闩锁板922分别向外伸出一 段距离。因此，当所述闩锁机构92处于扣锁状态时，每一所述卡掣部922b会 伸出所述本体91的每一所述开口912的外部，并且扣住所述盒罩A对应设置 的卡槽A1内，从而使所述盒罩A与所述晶圆盒底座C形成密封的状态。
综上所述，所述晶圆盒是借着所述闩锁机构92来确保所述盒罩A与所述 晶圆盒底座C的锁固来形成密闭。然而，所述闩锁机构92有可能因为外部驱 动机构的定位不正确，或者转动角度不足，而使所述闩锁机构92没有确实将 所述盒罩A与所述晶圆盒底座C锁固。由于缺乏检视此状态的机制，使得在 搬运所述未确实锁固的晶圆盒时，因为晶圆盒密封性不足，而使所述晶圆盒内 的晶圆受到微粒污染。或者，由于搬运时有可能是以所述盒罩A的把手(未绘 示)作为支撑，更可能因为所述盒罩A与所述晶圆盒底座C意外分开，造成所 述晶圆盒底座C连同所述晶圆放置架B及晶圆(未绘示)掉落，造成晶圆(未绘 示)的损坏另外，长期使用所述晶圆盒时，由于所述转动开关921的底部与所述底板 93不断接触与摩擦，有可能造成微粒(particle)而污染所述晶圆盒。现有的解决 方法为在所述底板93的顶面摩擦处贴设一铁氟龙材质的垫片933,以减少摩 擦造成微粒的情形，但在使用一段时间后，所述垫片933可能破裂毁损，仍需 更换所述垫片933。
因此，有必要提供一种晶圆盒底座，以解决现有技术所存在的缺陷。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种晶圆盒底座，其是利用在本体的表面 开设检视窗口并在闩锁机构设置标示部，以便检视所述晶圆盒的盒罩与晶圆盒 底座锁固的状态是否良好，从而减少所述晶圆盒搬运时，所述盒罩与所述晶圆 盒底座意外分开，而造成晶圆被污染或损坏的情形。
本实用新型的另一目的在于提供一种晶圆盒底座，其是利用一耐磨耗的支 撑环，以减少一转动开关底部与一底板间因摩擦而产生微粒的情形，从而减少 所述晶圆盒受到微粒污染的情形。
为达上述的目的，本实用新型提供一种晶圆盒底座，其包含一本体、至少 二开口、 一闩锁机构、至少一标示部及至少一检视窗口。所述本体与一盒罩及 一晶圆放置架组合，共同形成一用以承载晶圆的晶圆盒。所述至少二开口对称 的设于所述本体的两侧面。所述闩锁机构设于所述本体内，其具有至少二卡掣 部可伸出所述至少二开口，以固锁所述盒罩。所述至少一标示部设于所述闩锁 机构的至少二卡掣部的至少其一。所述至少一检视窗口，其实质对应所述至少 一标示部而设于所述本体的表面，透过所述至少一检视窗口是否显示所述至少 一标示部的情形，以判断所述闩锁机构是否确实固锁所述盒罩。藉此，可确保 所述盒罩与所述晶圆盒底座固定与密封，以免搬运时盒罩与晶圆盒底座意外分 开，造成晶圆被污染或者损坏。相较于现有技术，本实用新型通过至少一标示部显示一底座与一盒罩是否 确实固定与密封，其确实可以避免晶圆被污染或者损坏，并减少一转动开关底 部与一底板间因摩擦而产生微粒，减少晶圆盒受到微粒的污染。
图l:现有的晶圆盒的立体分解图。
图2:本实用新型第一实施例的晶圆盒的立体分解图。
图3:本实用新型第一实施例的晶圆盒底座的解锁状态的俯视图。
图3A:图3的局部放大图。
图4:本实用新型第一实施例的晶圆盒底座的扣锁状态的俯视图。 图4A:图4的局部放大图。
图5:本实用新型第二实施例的晶圆盒底座的解锁状态的俯视图。 图5A:图5的局部放大图。
图6:本实用新型第二实施例的晶圆盒底座的扣锁状态的俯视图。 图6A:图6的局部放大图。
具体实施方式
为让本实用新型上述目的、特征及优点更明显易懂，下文特举本实用新型 较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下
请参考图2所示，其揭示本实用新型第一实施例的晶圆盒的立体分解图。 本实用新型第一实施例的晶圆盒包含一盒罩A、 一晶圆放置架B及一晶圆盒底 座D。所述晶圆盒底座D具有一本体1，所述本体1为一内部中空的盒体，其 内部设有一闩锁机构2，其底部设有一底板3。所述盒罩A为一透明材质的盒罩A，其套设于所述本体1上形成容置空间。所述晶圆放置架B设于所述本体 l的顶面，用以承载复多个晶圆(未绘示)。
如图2所示，所述闩锁机构2包含一转动开关21及二对称设置的闩锁板 22。所述转动开关21设有一枢接孔21a、 二凸轮21b及二驱动销孔21c。所述 枢接孔21a设于所述转动开关21的中心，所述二凸轮21b是对称的设在所述 枢接孔21a的两侧，所述二驱动销孔21c分别是为一盲孔，设于所述转动开关 21的底部，且分别伸入所述二凸轮21b的内部。所述闩锁板22设有一抵接边 22a及二卡掣部22b。
如图2所示，所述底板3中央设有一环座33，所述环座33是一环型凹槽， 其是选择以卡掣、螺固、共射成型、超音波或黏胶的方式结合一支撑环34，所 述环座33的中央凸设有一岛状凸部(未标示)，其上开设有一轴孔31。所述本 体1内部中央设有一枢接座11。再者， 一枢接件a从底部向上依序穿过所述底 板3的轴孔31、所述转动开关21的枢接孔21a及所述本体1的枢接座11。所 述底板3的环座33的岛状凸部进一步设有二弧型孔32，以供一外部的驱动装 置(未绘示)穿过所述二弧型孔32而插设于所述转动开关21的所述二驱动销孔 21c内，以便控制所述转动开关21做一限定角度的转动，所述闩锁机构2具有 一縮入位置(解锁状态)及一伸出位置(扣锁状态)。
综上所述，所述支撑环34优选是以耐磨耗的材质制作，且其顶面的高度 略高于所述底板3的高度，因此所述转动开关21的底部只会与所述支撑环34 接触及磨擦。因为所述支撑环34相较其它材质耐磨耗，所以能避免因为所述 转动开关21底部与所述支撑环34之间的磨擦而产生微粒，从而污染所述晶圆
请再参考图2所示，所述闩锁机构2的所述二闩锁板22是对称的设于所述转动开关21的两侧，受到弹性件(未绘示)的作用，所述抵接边22a是保持抵 接于所述转动开关21的凸轮21b上。另外，所述本体1 二相对的侧面共开设 有四开口12，所述开口 12与所述卡掣部22b的位置与数量是相对应的，虽然 本实施例中所揭示的是四个开口 12与四个卡掣部22b，但本实用新型并不限制 所述开口 12与所述卡掣部22b的数量，至少二个开口 12与卡掣部22b是基本 的需要。
请再参考图2、图3及图4所示，当所述闩锁机构2处于一解锁状态时， 每一所述卡掣部22b会位于所述本体1的每一所述开口 12的内部；当转动开 关21受外部驱动做一限定角度的转动，所述凸轮21b抵接所述闩锁板22的抵 接边22a，推动所述二闩锁板22分别向外伸出一段距离。因此，当所述闩锁机 构2处于一扣锁状态时，每一所述卡掣部22b会伸出所述本体1的每一所述开 口12的外部，并且扣住所述盒罩A对应设置的卡槽A1内，从而使所述盒罩 A被锁固于所述晶圆盒底座D上，以形成密封的状态。
请参考图2、图3及图3A所示，其揭示本实用新型第一实施例的晶圆盒 底座的立体分解及解锁状态的俯视图。所述本体1相对于每一所述卡掣部22b 的位置开设有开口 12，所述本体1相邻每一所述开口 12的顶面或其它表面(如 所述底板3的表面)上分别设有一检视窗口 13。另外，每一所述卡掣部上22b 设有一标示部22c。如图3A所示，当所述闩锁板22处于一縮入位置(所述闩锁 机构2处于一解锁状态)，每一所述卡掣部22b及标示部22c是位于相对应的 检视窗口 13的正下方，透过所述本体1顶面的检视窗口 13，可以看到所述标 示部22c。
请再参考图2、图4及图4A所示，其揭示本实用新型第一实施例的晶圆 盒底座的立体分解及扣锁状态的俯视图。当所述闩锁板22处于一伸出位置(所述闩锁机构2处于一扣锁状态)，每一所述卡掣部22b及标示部22c是伸出对 应的开口 12，此时，可以从所述开口 12看到标示部22c，而无法从所述检视 窗口 13看到每一所述标示部22c。因此，通过所述检视窗口 13有无出现所述 标示部22c的情形，可以目视判断所述盒罩A与所述晶圆盒底座D是否确实 的锁固。
综上所述，在本实用新型第一实施例中揭示所述晶圆盒底座设有四个检视 窗口13，其分别设于相邻所述开口 12的本体1顶面上。然而，本实用新型并 不限制所述检视窗口 13的数量，当整个闩锁机构2是处于一种连动的状态时， 至少一检视窗口 13与至少一标示部22c，亦能提供给使用者判断，所述晶圆盒 的盒罩A与晶圆盒底座D是否确实锁固。此外，所述检视窗口 13优选是为一 透明材质的检视窗口13，所述透明材质的检视窗口 13可选用如卡合、共射出 成型、超音波或黏胶等方式来固设于所述本体1上。另外，所述标示部22c的 颜色或材质优选是采用相异于所述闩锁板22的醒目颜色或材质，例如红色、 黄色或者荧光色，所述标示部22c可选用黏贴、喷涂或卡合的方式来制作于所 述闩锁板22上。
请参考图5及图5A所示，其揭示本实用新型第二实施例的晶圆盒底座解 锁状态的俯视图。本实用新型第二实施例的晶圆盒底座是相似于本实用新型第 一实施例，其不同之处在于每一所述标示部22c不是设于所述卡掣部22b上， 而是设于每一所述卡掣部22b邻近的内侧。如图5A所示，当所述闩锁板22 处于一縮入位置(所述闩锁机构2处于一解锁状态)，虽然各卡掣部22b是位于 相对应的检视窗口 13的正下方，但所述每一所述标示部22c不位于相对应的 检视窗口 13的正下方，透过所述本体1顶面的检视窗口 13，无法看到所述标 示部22c。请再参考图6及图6A所示，其揭示本实用新型第二实施例的晶圆盒底座 扣锁状态的俯视图。当所述闩锁板22处于一伸出位置(所述闩锁机构2处于一 扣锁状态)，每一所述卡掣部22b是伸出对应的开口 12，而每一所述标示部22c 位于相对应的检视窗口 13的正下方。此时，可以从所述检视窗口13，看到每 一所述标示部22c。因此，通过所述检视窗口 13有无出现所述标示部22c的情 形，可以目视判断所述盒罩A与所述晶圆盒底座D是否确实的锁固。
虽然，本实用新型的第一及第二实施例是利用单一色彩的标示部22c有无 出现于检视窗口 13中，就能判断所述盒罩A与所述晶圆盒底座D是否确实的 锁固。但进一步的，也可利用二种不同颜色的标示部22c设于所述闩锁机构2 上，禾U用所述闩锁板22处于縮入及伸出的不同位置，可以透过检视窗口 13看 到不同的颜色，用以判断所述盒罩A与所述晶圆盒底座D是否确实的锁固。
综上所述，相较于现有的晶圆盒，虽然使用一闩锁机构2来锁固一盒罩与 晶圆盒底座，但由于缺乏检视的机制，使得在搬运所述未确实锁固的晶圆盒时， 有可能使所述晶圆盒内的晶圆受到微粒污染或损坏。图2的本实用新型通过检 视窗口及实质对应设于一闩锁机构的标示部，用以目视判断所述闩锁机构是否 确实锁固所述盒罩。藉此，可确保所述盒罩与所述晶圆盒底座确实固定与密封， 以免搬运时盒罩意外脱落，造成晶圆被污染或者损坏。
权利要求1、一种晶圆盒底座，其包含一本体，其两侧面形成至少二开口；及一闩锁机构，其设于所述本体内，所述闩锁机构具有一伸出位置及一缩入位置，并设有至少二卡掣部对应于所述至少二开口，所述至少二卡掣部是在所述至少二开口外的一伸出位置及所述至少二开口内的一缩入位置之间移动；其特征在于所述晶圆盒底座还包含至少一标示部，其设于所述至少二卡掣部的至少其一；以及至少一检视窗口，其对应所述至少一标示部而设于所述本体的表面；所述闩锁机构位于所述缩入位置，所述至少一标示部是位于所述至少一检视窗口的下方；所述闩锁机构位于所述伸出位置，所述至少一标示部是伸出所述对应的开口。
2、 如权利要求1所述的晶圆盒底座，其特征在于所述闩锁机构包含一转 动开关及二对称设置的闩锁板。
3、 如权利要求1所述的晶圆盒底座，其特征在于所述至少一检视窗口为 一透明材质的检视窗口。
4、 如权利要求1所述的晶圆盒底座，其特征在于所述至少一标示部为一 颜色或材质异于闩锁板的标示部。
5、 如权利要求1所述的晶圆盒底座，其特征在于所述晶圆盒底座还包含 一底板，所述底板设有一环座及一支撑环，所述支撑环为一耐磨材质的 支撑环。
6、 一种晶圆盒底座，其包含一本体，其两侧面形成至少二开口；及一闩锁机构，其设于所述本体内，所述闩锁机构具有一伸出位置及一縮 入位置，并设有至少二卡掣部对应于所述至少二开口，所述至少二卡掣 部是在所述至少二开口外的一伸出位置及所述至少二开口内的一縮入 位置之间移动；其特征在于所述晶圆盒底座还包含 至少一标示部，其设于所述闩锁机构的至少二卡掣部的至少其一；以及 至少一检视窗口，其对应所述至少一标示部而设于所述本体的表面；所 述闩锁机构位于所述縮入位置，所述至少一标示部未位于所述至少一检 视窗口的下方；所述闩锁机构位于所述伸出位置，所述至少一标示部是 位于所述至少一检视窗口的下方。
7、 如权利要求6所述的晶圆盒底座，其特征在于所述闩锁机构包含一转 动开关及二对称设置的闩锁板。
8、 如权利要求6所述的晶圆盒底座，其特征在于所述至少一检视窗口为 一透明材质的检视窗口。
9、 如权利要求6所述的晶圆盒底座，其特征在于所述至少一标示部为一 颜色或材质异于闩锁板的标示部。
10、 如权利要求6所述的晶圆盒底座，其特征在于所述晶圆盒底座还包含 一底板，所述底板设有一环座及一支撑环，所述支撑环为一耐磨材质的 支撑环。
专利摘要本实用新型公开一种晶圆盒底座，其包含一本体、至少二开口、一闩锁机构、至少一标示部及至少一检视窗口。所述本体与一盒罩及一晶圆放置架组合，共同形成一用以承载晶圆的晶圆盒。所述至少二开口对称的设于所述本体的两侧面。所述闩锁机构设于所述本体内，其具有至少二卡掣部可伸出所述至少二开口，以固锁所述盒罩。所述至少一标示部设于所述闩锁机构的至少二卡掣部的至少其一。所述至少一检视窗口，其实质对应所述至少一标示部而设于所述本体的表面，透过所述至少一检视窗口是否显示所述至少一标示部的情形，以判断所述闩锁机构是否确实固锁所述盒罩。
文档编号H01L21/673GK201327822SQ20082017884
公开日2009年10月14日 申请日期2008年11月12日 优先权日2008年11月12日
发明者张耀中 申请人:耀连科技有限公司