密闭式晶圆传送盒的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型是关于一种装载晶圆的设备，尤指一种用于半导体制程工作站与工作站之间进行搬运或移动所需能开启闭合的一种密闭式晶圆传送盒。
【背景技术】
[0002]晶圆是半导体积体电路制作时的硅晶片，从晶棒切割研磨后多呈现圆形薄片状，依不同的尺寸可分为6吋、8吋、12吋不等，由于晶圆十分薄，在搬运时会借助胶膜以将晶圆粘附固定于晶圆框架上而放入晶圆传送盒内，通过承载多片晶圆框架的晶圆传送盒来搬送。
[0003]按照现有的晶圆传送盒并无设计外盖，当在半导体制程的工作站/机台与工作站/机台之间搬运时，容易有细微的灰尘沾覆在晶圆上，使后续的晶圆在使用上良率降低。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的即在提供一种密闭式晶圆传送盒，让晶圆传送盒在密闭至开启或是在开启至密闭的操作过程中，晶圆传送盒内部的晶圆框架不会因操作所受到的应力而受损，进而破坏晶圆的结构。
[0005]为达上述的目的，本实用新型的技术手段在于:
[0006]一个盒体，具有供容置数个晶圆框架的容置空间；
[0007]—个导引元件，固设在该盒体的一面上并具有至少一个导引槽；
[0008]一个片体，具有至少一个枢接滑动部，而该至少一个枢接滑动部以可滑动及可枢转的方式容置于该导引元件内的至少一个导引槽中，并使该片体得以相对该至少一个导引槽作滑动及枢转 '及
[0009]一个盖子，以可枢转的方式与该片体结合并选择性地密闭该盒体的容置空间。
[0010]优选为还包括至少一个支撑块，其固设于该盒体的一面上并具有凹口。
[0011]本实用新型的有益效果是:借助该至少一个枢接滑动部而使该片体在该至少一导引槽滑动及枢转，以便让该盒体与该盖子分离，并可将该盖子的一边稳固地放置于该至少一支撑块的凹口上，让该盒体呈开启状态，同时确保该盖子在开启的过程中的枢转空间不会抵触周围的精密机台或仪器等。
【附图说明】
[0012]图1为本实用新型较佳实施例的密闭式晶圆传送盒(密闭状态)的立体图；
[0013]图2A?2C为本实用新型较佳实施例的密闭式晶圆传送盒的平面作动图，分别示意盖子作动的位置；
[0014]图3为本实用新型较佳实施例的密闭式晶圆传送盒(开启状态)的立体图；
[0015]图4A?4C为本实用新型较佳实施例的密闭式晶圆传送盒，其内部容置空间的平面图及立体图；
[0016]图4D为本实用新型较佳实施例的密闭式晶圆传送盒，其第一弹性夹持件的结构立体图；
[0017]图5A?5B为本实用新型较佳实施例的密闭式晶圆传送盒，其内部容置空间放置晶圆状态的平面图及立体图；
[0018]图6A?6C为本实用新型较佳实施例的密闭式晶圆传送盒所采用的第一种扣件，其平面作动图；
[0019]图7A?7C为本实用新型较佳实施例的密闭式晶圆传送盒所采用的第二种扣件，其立体作动图；及
[0020]图8A?SB为本实用新型较佳实施例的密闭式晶圆传送盒所采用的连动锁，其立体作动图。
[0021]【主要元件符号说明】
[0022]I盒体 2盖子
[0023]11导引元件 21第一弹性夹持件
[0024]210间隔条
[0025]211间隙
[0026]212
[0027]凹口
[0028]213
[0029]凸部
[0030]111长条块体 3晶圆
[0031]112导引槽 4晶圆框架
[0032]1120枢接滑动部 5胶膜
[0033]1120’枢接滑动部 H方向
[0034]1121挡止部 wl、w2宽度
[0035]113片体 h距离
[0036]114支撑凸块
[0037]115扣件
[0038]1151勾状物
[0039]1152连接件
[0040]1153滑钮
[0041]1154钥匙
[0042]1155锁片
[0043]1156活动连杆
[0044]116支撑片
[0045]117第二弹性夹持件
[0046]118限制部。
【具体实施方式】
[0047]为便于贵审查委员能对本实用新型的技术手段及运作过程有更进一步的认识与理解，兹举实施例配合图式，详细说明如下。
[0048]请参阅图1所示，本实用新型较佳实施例所提供的密闭式晶圆传送盒，其包括一盒体I及一盖子2，其中该盒体I具有提供放置多个晶圆框架(wafer frame)的容置空间与开口，而该盖子2是选择性地覆盖该盒体I的开口，从而使该盒体I的容置空间呈现密闭状态。
[0049]该盒体I的一面具有一导引元件11，其是由二相互平行的长条块体111固设于该盒体I的面上所构成。该各长条块体111在其纵深内部两侧凹设有两导引槽112。此外可进一步分别在该各长条块体111的一端凸设有一限制部118。
[0050]该盒体I还具有一片体113，而该片体113又在其远离该盖子2的一端固设有两枢接滑动部1120，请参阅图2A?图2C。该各枢接滑动部1120为圆柱状并分别容置于该导引槽112中，使得该片体113借助枢接滑动部1120沿着该导引槽112的导引进行双向的滑动。另外，由于该枢接滑动部1120为圆柱状的结构，使得该片体113是相对该导引槽112作枢转的动作。
[0051]该盒体I还具有一组支撑凸块114，其固设于该片体113的两侧且靠近该盒体I与该盖子2的结合处。
[0052]该盖子2与该片体113可借助至少一轴承以可枢转的方式相互结合。当该盖子2覆盖该盒体I的开口后，可借助至少一扣件115将该盖子I稳固地固定覆盖于该盒体I的开口，如图1所示，从而使该盒体I的容置空间呈密闭。
[0053]请再参阅图2A至图2C所示，为本实用新型较佳实施例所提供的密闭式晶圆传送盒的平面侧视图。该盖子2对应该盒体I的内侧面固设有一第一弹性夹持件21，其结构特征将于之后段落说明。另外，该支撑凸块114的表面具有一凹口，作为该盖子2打开后的支撑处，其详细实施方式将于之后段落说明。
[0054]如图2A所示，欲打开该盖子2以放置或拿取该盒体I内的晶圆时，首先可借助该片体113的枢接滑动部1120沿水平方向远离该盒体I而往前推开一预设距离h来进一步单向地推动该盖子2，使该盖子2的内侧面沿着该片体113的滑动方向远离该盒体I的开口，其中该预设距离h的长短是由实际作业环境中该片体可被接受的最小枢转空间而决定的。值得注意的是，该片体113具有一宽度《2的内缩段，即在该片体113的特定区域的两侧边分别凹设有一缺口以形成该内缩段，如图1所示，使得该内缩段的宽度w2小于该片体113在非内缩段的宽度wl。由于该盖子2在闭合而未被推动之前，宽度w2的内缩段与该限制部118彼此并未对准而使得该限制部118阻挡该盖子2的枢转，当借助该片体113往前推开该盖子2至该预设距离h以使在该内缩段的凹口对准该限制部118，此时该盖子2可直接对应该盒体I作枢转的动作。此外也可进一步在该各长条块体111之间设置一挡止部1121，以避免将该片体113往前推开过多的距离。
[0055]接着，如图2B所示，该盒体I与该盖子2推开后，该片体113可借助该导引槽112的枢接滑动部1120来进一步将该盖子2枢转上移至该盒体I的一侧。
[0056]如图2C所示，当该盖子2上移至该盒体I的一侧后，借助该片体113的枢接滑动部1120，可再将该片体113沿着一反向方向H滑动