密闭式晶圆盒的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型是关于一种密闭式晶圆盒，特别是一种具有盖体以保护具有晶圆的晶圆框架，在搬运过程中不易滑出晶圆盒的密闭式晶圆盒。
【背景技术】
[0002]照现行半导体制程中所使用的晶圆盒设计有外盖，以盖合晶圆盒，并保护承载在晶圆盒内的数个晶圆片，使晶圆盒在搬运或移动过程时，需小心搬运或移动，以免造成晶圆受到损伤。
[0003]由于晶圆在制作完成后，是属于易碎物品，将晶圆移到下一个制程，需将晶圆装进晶圆盒中，以避免晶圆在搬运过程中造成损伤，使晶圆无法进行下一个制程。
[0004]因此，如何将晶圆盒加以强化盒体结构，让承载在晶圆盒内的晶圆能够稳度地在晶圆盒内且不易在搬运过程造成损伤，是亟待业界解决的课题。
[0005]由此可见，上述现有物品仍有诸多缺失，实非一良善的设计，而亟待加以改良。
【实用新型内容】
[0006]鉴于前述现有技术的缺点，本案创作人乃依其从事各种晶圆盒的制造经验和技术累积，针对上述缺失悉心研宄各种解决的方法，在经过不断的研宄、实验与改良后，终于开发设计出本实用新型的一种密闭式晶圆盒，以期能摒除现有技术所产生的缺失。
[0007]本实用新型的主要目的，在提供一种密闭式晶圆盒，利用盖体保护具有晶圆的晶圆框架在搬运过程中不易滑出晶圆盒。
[0008]根据上述的目的，本实用新型的密闭式晶圆盒，其主要包括有:一中空盒体、一盖体及至少一扣合机构；其中，该盒体具有一容置晶圆框架的容置空间，该盒体的一端开设一开口，其供至少一片内有晶圆的晶圆框架经由该开口置入该容置空间，使该盒体以承载各该晶圆框架，其中该晶圆框架借助胶膜将晶圆连接于该晶圆框架；该盖体设于该盒体的开口处，其与该开口相对应，并盖合于该开口，从而使该盒体呈一密闭盒体；各该扣合机构设于该盖体上，其于该盖体中央处枢设一转盘，该转盘内面上、下的二对称偏心滑道上，设有一上活动臂及一下活动臂，其中，该上活动臂前端内面的一个圆柱，在位于上方的偏心滑道内滑移，且该下活动臂前端内面的一个另一圆柱，在位于下方的偏心滑道内滑移，而且该二个对称偏心滑道一端较靠近该转盘的旋转中心，另一端则逐渐远离该转盘的旋转中心，当转动该转盘时，该上、下活动臂，因其圆柱、另一圆柱在偏心滑道内滑移，而产生上、下直线移动；又，该上、下活动臂的末端分别设有一卡扣；借此，当该盖体盖合于该盒体的开口上时，可转动该转盘使该上、下活动臂因上、下直线移动，而其卡扣卡合于该开口上、下边缘上，借以令该盖体密闭固定于该盒体的开口上。
[0009]如此，即可利用盖体保护晶圆框架在搬运过程中不易滑出晶圆盒。
[0010]本实用新型的次要目的，在提供一种密闭式晶圆盒，在其盒内设有第一弹性夹持件与第二弹性夹持件，用以缓冲及固定晶圆框架，进而避免晶圆破片的风险。
[0011]根据上述的目的，本实用新型的密闭式晶圆盒，其更进一步包含有第一弹性挟持件及第二弹性挟持件，其中该第一弹性挟持件设于该盒体的内侧面，而该第二弹性挟持件设于该盖体的内侧面，用以缓冲及固定各该晶圆框架，避免各该晶圆框架碰撞到晶圆盒的内侧。此外，该第二弹性挟持件包含有数个间隔条，其中各该间隔条的侧面呈现一 V型开口，以引导并抵靠在各该晶圆框架相对于该盖体内面的对向边，而两相邻该间隔条之间具有一间隙，以供各该间隔条弹性接触各该晶圆框架的对向边。此外，两相邻该间隔条的两相邻边，沿着该间隙分别凹设有数个凹口及对应各该凹口所凸设的数个凸部，其中各该凸部用以导引定位各该晶圆框架。
[0012]本实用新型的有益效果是:本实用新型的密闭式晶圆盒，借助上述结构利用盖体保护具有晶圆的晶圆框架在搬运过程中不易滑出晶圆盒；又通过上述结构在其盒内设有第一弹性夹持件与第二弹性夹持件，用以缓冲及固定晶圆框架，从而避免晶圆破片的风险。
[0013]为便贵审查委员能对本实用新型的目的、形状、构造装置特征及其功效，做更进一步的认识与理解，兹举实施例配合图式，详细说明如下。
【附图说明】
[0014]图1为本实用新型晶圆盒的立体示意图。
[0015]图2为本实用新型晶圆盒的部份放大示意图。
[0016]图3为本实用新型晶圆盒的立体分解图。
[0017]图4为本实用新型晶圆盒的使用示意图。
[0018]图5为本实用新型晶圆盒所使用的晶圆框架的不意图。
[0019]图6为本实用新型晶圆盒所使用的弹性挟持件的示意图。
[0020]【主要元件符号说明】
[0021]中空盒体10
[0022]容置空间11
[0023]支撑片116
[0024]第一弹性夹持件117
[0025]开口12
[0026]卡块121
[0027]盖体20
[0028]定位件201
[0029]第二弹性夹持件21
[0030]间隔条210
[0031]间隙211
[0032]凹口212
[0033]凸部213
[0034]晶圆3
[0035]扣合机构30
[0036]转盘31
[0037]偏心滑道311
[0038]上活动臂32
[0039]下活动臂33
[0040]卡扣321、331
[0041]圆柱322
[0042]另一圆柱332
[0043]握把转头34
[0044]导轨35
[0045]弹性体36
[0046]内凹结构37
[0047]晶圆框架4
[0048]胶膜5。
【具体实施方式】
[0049]本实用新型是有关一种“密闭式晶圆盒”，请参阅图1、图2、图3、图5所示，其主要包括有:一中空盒体10、一盖体20及至少一扣合机构30。
[0050]其中，该盒体10具有一容置空间11，该盒体10的一端开设一开口 12，其供一片或数片晶圆框架经由该开口 12置入该容置空间11，使该盒体10以承载各该晶圆框架4，每片晶圆框架4借助一胶膜5而将晶圆3连接于上述各晶圆框架。
[0051]该盖体20设于该盒体10的开口 12处，其与该开口 12相对应，并盖合于该开口12，以使该盒体10呈一密闭盒体。
[0052]各该扣合机构30设于该盖体20上，其于该盖体20中央处枢设一转盘31，该转盘31内面上、下的二对称偏心滑道311上，设有一上活动臂32及一下活动臂33，其中，该上活动臂32前端内面的一圆柱322，在位于上方的偏心滑道311内滑移，且该下活动臂33前端内面的一另一圆柱332，在位于下方的偏心滑道311内滑移，而且该二对称偏心滑道311 —端较靠近转盘31的旋转中心，另一端则逐渐远离转盘31的旋转中心，使得转动该转盘31时，借助该圆柱322、另一圆柱332在该二对称偏心滑道311内滑移，而逐渐远离/靠近转盘的旋转中心，从而使该上活动臂32、下活动臂33的末端，因该圆柱322、另一圆柱332逐渐远离/靠近转盘的旋转中心，而产生上、下直线移动；又，该上、下活动臂32、33的末端分别设有一^^扣 321、331。
[0053]借助上述构件的组成，请参阅图4所示，当该盖体20盖合于该盒体10的开口 12上时，可转动该转盘31使该上、下活动臂32、33因上、下直线移动，而其卡扣321、331卡合于该开口 12上、下边缘上，借以令该盖体20密闭固定于该盒体10的开口 12上。
[0054]如此一来，即可利用盖体20保护晶圆框架在搬运过程中不易滑出晶圆盒。
[0055]再请参阅图1、图2、图3所示，该转盘31上设有一供手握持的握把转头34，令以手转动该握把转头34可转动该转盘31。
[0056]再请参阅图1、图2、图3所示，该盖体20在对应该转盘31的外围设有一导轨35，而该转盘3