一种开启前开式晶圆盒的工具的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及集成电路工艺装置领域，尤其涉及一种开启前开式晶圆盒的工具。
【背景技术】
[0002]半导体制造工艺对于生产厂区有严格的洁净度要求，因为晶圆对于污染十分敏感，污染物往往会造成晶圆的缺陷，从而降低产品合格率，提高制造成本。在半导体制造过程中，在向各种处理装置、检查装置等搬送晶圆时，为了减少对晶圆的污染，通常将待搬送晶圆置于前开式晶圆盒(Front Open Unit Pod，F0UP)中，通过搬送前开式晶圆盒来达到搬送晶圆的目的。
[0003]前开式晶圆盒作为一种搬送晶圆的装置，是一个密闭型的容器，通过门的开启与关闭来取放晶圆。参照附图，图1是前开式晶圆盒的示意图，图2是开启前开式晶圆盒的门的钥匙的示意图，通过图2中的钥匙将图1中前开式晶圆盒的门上的栓条调成水平，即可将门开启。
[0004]因为开启前开式晶圆盒的门的钥匙与前开式晶圆盒分离，因此存在以下两点不足之处:一是开启FOUP不方便，FOUP门易脱落；二是钥匙易丢失，给工作带来很多不便。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型针对现有技术的局限性，开创性地提供一种开启前开式晶圆盒的工具，使之能够方便容易开启F0UP，解决提供生产部门或涉及工程试验要开启FOUP的工程师在实际操作中碰到的问题。
[0006]本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案为:
[0007]提供一种开启前开式晶圆盒的工具，其特征在于，所述前开式晶圆盒设置有门闩锁，所述工具包括:
[0008]钥匙，与所述门闩锁匹配；
[0009]连接装置，所述钥匙可转动地设置于所述连接装置的一端；
[0010]活动把手，设置于所述连接装置的另一端，所述活动把手通过所述连接装置与所述钥匙连接；以及
[0011 ] 将所述钥匙插入所述门闩锁的锁孔后，通过握紧所述活动把手以利用所述连接装置驱动所述钥匙转动，以开启所述前开式晶圆盒。
[0012]优选的，上述的开启前开式晶圆盒的工具，其中，所述连接装置包括:
[0013]双导轮，通过一钢丝带与所述活动把手连接；
[0014]单导轮，所述钢丝带经由所述双导轮通过所述单导轮与所述钥匙连接；
[0015]钥匙托，所述钥匙固定设置在所述钥匙托上，且所述钢丝带与所述钥匙托连接；以及
[0016]通过握紧所述活动把手以利用所述钢丝带拉动所述钥匙托来控制所述钥匙的转动。
[0017]优选的，上述的开启前开式晶圆盒的工具，其中，所述连接装置还包括:
[0018]导向块，所述钢丝带通过所述导向块与所述双导轮以及所述单导轮连接；
[0019]导向槽，所述导向块在所述导向槽内上下滑动。
[0020]优选的，上述的开启前开式晶圆盒的工具，其中，所述活动把手包括:
[0021]伸缩弹簧，当紧握所述活动把手时，所述伸缩弹簧通过所述钢丝带拉动所述导向块在所述导向槽内向上滑动，则所述钢丝带拉动所述钥匙托转动，以带动所述钥匙转动。
[0022]优选的，上述的开启前开式晶圆盒的工具，其中，所述连接装置还包括:
[0023]圆形固定盘，所述钥匙托固定设置于所述圆形固定盘上；
[0024]两个回位弹簧，分别设置在所述钥匙托的两端，所述回位弹簧的一端与所述钥匙托固定连接，另一端均固定设置在所述固定盘的边缘，以控制所述钥匙托的转动幅度。
[0025]优选的，上述的开启前开式晶圆盒的工具，其中，所述钢丝带为不锈钢材质。
[0026]优选的，上述的开启前开式晶圆盒的工具，其中，所述钥匙为不锈钢材质。
[0027]上述技术方案具有如下优点或有益效果:本实用新型的一种开启前开式晶圆盒的工具，通过将开启前开式晶圆盒的钥匙与控制钥匙的活动把手一体式设计，通过连接装置将钥匙与活动把手连接，紧握活动把手，则连接装置中的钢丝带带动钥匙转动来开启前开式晶圆盒，这一方案解决了传统单独的钥匙易丢失，且开启前开式晶圆盒之后FOUP门易脱落的问题。
【附图说明】
[0028]通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型及其特征、外形和优点将会变得更加明显。需要注意的是，附图中并未按照比例绘制相关部件，重点在于示出本实用新型的主旨。
[0029]图1是前开式晶圆盒的示意图；
[0030]图2是现有技术中开启如开式晶圆盒的钥匙的不意图；
[0031]图3是本实用新型的一种开启如开式晶圆盒的工具的不意图；
[0032]图4是本实用新型的连接装置内部结构示意图；
[0033]图5是本实用新型的双导轮结构示意图；
[0034]图6是本实用新型的单导轮结构示意图；
[0035]图7是本实用新型的钥匙结构示意图；
[0036]图8是本实用新型的活动把手松弛(不需开启)时连接装置内部的结构图；
[0037]图9是本实用新型的活动把手握紧(开启)时连接装置内部的结构图。
【具体实施方式】
[0038]下面结合附图和具体的实施例对本实用新型作进一步的说明，但是不作为本实用新型的限定。
[0039]参照图3以及图4，本实用新型的一种开启前开式晶圆盒的工具，包括活动把手1、连接2以及钥匙3，通过将钥匙3插入前开式晶圆盒的门上的门闩锁内并转动钥匙3以使门闩锁由竖直状态变为水平，从而开启前开式晶圆盒的门；连接装置2的一端连接钥匙3，控制钥匙3的转动，另一端连接活动把手1，通过活动把手I紧握或松弛来控制钥匙3的转动。
[0040]结合参照图4，连接装置2内部，设置有三角导向块22，该三角导向块22在导向槽21内滑动。三角导向块22通过一钢丝带27与设置在活动把手I内部的伸缩弹簧1