专利名称：晶圆盒的顶撑构造的制作方法
技术领域：
本实用新型是涉及一种晶圆盒的顶撑构造，特别是涉及一种可用以防止错 误组装的晶圆盒顶撑构造。
背景技术：
在现今的半导体晶圆制造厂中，每当晶圆表面形成微电子电路之后，数片 晶圆将会暂时储存于一晶圆盒内，以便保护所述晶圆及平稳的将所述晶圆运送 至下一加工机台位置或其它厂区。
请参照图1所示，其概示一种现有的晶圆盒1，所述晶圆盒1包含一盖体
11、 一座体12及二顶撑件13。所述盖体ll通常是选自透明材质制成的盒盖， 其用以盖设于所述座体12上，以密封所述座体12的上表面。所述盖体11内 部的上表面设有一第一结合座111及一第二结合座112，所述第一及第二结合 座111、 112之间具有一高度差，所述第二结合座112相对较凸出。所述座体 12的上表面则卡接组装一定位框架121，以供插置多个晶圆。所述定位框架121 的上表面则区分成一第一顶面121a及一第二顶面121b。所述第一及第二顶面 '121a、 121b之间具有一高度差，所述第二顶面121b相对较低。所述二顶撑件 13分别结合于所述盖体11的第一及第二结合座lll、 112，并分别对应于所述 定位框架121的第一及第二顶面121a、 121b。
请参照图2所示，所述顶撑件13包含一结合部131、 二支撑臂132、 二弯 折部133、 二弹性臂134、 一抵接部135及一通孔136。所述结合部131用以结 合于所述盖体11的第一或第二结合座111、 112。所述支撑臂132的一端连接所述结合部131，及其另一端连接所述弯折部133。所述弹性臂134的一端连 接所述弯折部133，及其另一端连接所述抵接部135。所述通孔136开设于所 述抵接部135上，以减少接触面积。
请参照图3A所示，当所述定位框架121正确的组装于所述座体12上并使 所述盖体11盖设于所述座体12上时，所述二顶撑件13的抵接部135恰可分 别轻微抵接于所述第一及第二顶面121a、 121b上，以便防止所述盖体ll及座 体12之间的相对晃动。此时，所述顶撑件13的弹性臂134及支撑臂132可相 对所述弯折部133弹性压縮变形，但其压縮变形量是控制在一预定范围内。
然而，请参照图3B所示，当所述定位框架121未正确的组装于所述座体 12上时，将造成所述定位框架121相对所述座体12形成些微倾斜。此时，若 将所述盖体11盖设于所述座体12上时，设于所述第一结合座111上的顶撑件 13的抵接部135可能过度紧密的抵接于所述第一顶面121a上，同时设于所述 第二结合座112上的顶撑件13的抵接部135却可能仅是轻微抵接所述第二顶 面121b。此时，所述第一结合座111上的顶撑件13已具有超过预定范围的压 縮变形量，可能导致所述顶撑件13由所述抵接部135或弯折部133的位置处 断裂，从而降低所述顶撑件13的使用寿命。再者，由于所述第二结合座112 上的顶撑件13并未完全发挥顶撑作用，因此可能造成所述盖体11及座体12 之间的相对晃动，而无法平稳运送晶圆。最重要的是，由于所述盖体11仍可 完全盖设于所述座体12上，因此自动化机台可能无法实时判断发现因为所述 定位框架121未正确的组装于所述座体12上而导致所述盖体11错误盖设于所 述座体12上，这样可能造成后续自动化机台或作业人员对晶圆位置的误判， 影响制程的连贯性与效率，甚至毁坏晶圆。
因此，有必要提供一种晶圆盒的顶撑构造，以解决现有技术所存在的问题。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种晶圆盒的顶撑构造，其是利用限位板 限制弹性臂及支撑臂的压縮变形量，此一防呆设计能在顶撑件过度压缩变形前 使自动化机台能实时判断是否盖体的盖设动作因定位框架未正确组装而发生 错误，从而有利于降低错误组装机率及增加使用便利性。
本实用新型的另一目的在于提供一种晶圆盒的顶撑构造，其是利用限位板 防止顶撑件因过度压縮变形而发生断裂的问题，从而有利于延长顶撑件的使用 寿命。
本实用新型的又一 目的在于提供一种晶圆盒的顶撑构造，其中抵接部省略 设置通孔，以便强化抵接部的结构避免断裂，从而有利于增加结构强度及延长 使用寿命。
为达上述的目的，本实用新型提供一种晶圆盒的顶撑构造，其是在一盖体 内部的上表面的一第一结合座及一第二结合座上分别安装一顶撑件，以分别抵 接一座体的一定位框架的一第一顶面及一第二顶面。所述顶撑件包含 一结合 部、二支撑臂、二弯折部、二弹性臂、 一抵接部及一限位板。所述结合部用以 结合于所述盖体的第一或第二结合座。所述支撑臂的一端连接所述结合部。所 述弯折部的一端连接所述支撑臂的另一端。所述弹性臂的一端连接所述弯折 部。所述抵接部连接所述二弹性臂的另一端。所述限位板形成在所述结合部、 支撑臂、弯折部、弹性臂及抵接部共同菌绕形成的一空间内。所述限位板具有 至少一基部及一限位部，所述基部结合在所述支撑臂与结合部的结合位置上， 所述限位部用以适时抵接所述抵接部的内表面，以限制所述弹性臂及支撑臂的 压縮变形量。
相较于现有技术，本实用新型通过在一盖体内部的上表面的二结合座上分 别安装一顶撑件，以分别抵接一座体的一定位框架的二不同顶面，本实用新型 确实可以防止错误组装，并有利于增加结构强度及延长使用寿命。
图l:现有晶圆盒及其顶撑构造的立体图。
图2:现有晶圆盒的顶撑构造的使用示意图。
图3A:现有晶圆盒在正常组装状态下的组合剖视图。
图3B:现有晶圆盒在错误组装状态下的组合剖视图。
图4:本实用新型较佳实施例的晶圆盒的顶撑构造的立体图。
图5:本实用新型较佳实施例的晶圆盒在正常组装状态下的组合剖视图。
图5A:本实用新型图5沿5A-5A线的剖视图。
图6:本实用新型较佳实施例的晶圆盒在错误组装状态下的组合剖视图。 图6A:本实用新型图6沿6A-6A线的剖视图。
具体实施方式
为让本实用新型上述目的、特征及优点更明显易懂，下文特举本实用新型 较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下
请参照图4及图5所示，本实用新型较佳实施例的晶圆盒的顶撑构造是在 一盖体11内部的上表面的一第一结合座111及一第二结合座112安装二顶撑 件2，以分别抵接一座体12的一定位框架121的一第一顶面121a及一第二顶 面121b。所述盖体11及座体12构成一晶圆盒1，其构造与功能可参照图1所 示的现有晶圆盒l，所以于此不再予详细赘述。本实用新型的特征在于所述顶 撑件2，所述顶撑件2除了可应用于本实用新型揭示的晶圆盒1之外，亦可能 应用于其它不同规格的晶圆盒或半导体组件收纳盒，于此合先叙明。
请参照图4、图5及图5A所示，本实用新型较佳实施例的顶撑件2是由可挠性材质制成，例如塑料。所述顶撑件2包含一结合部21、 二支撑臂22、 二弯折部23、 二弹性臂24、 一抵接部25及一限位板26。所述结合部21优选 是一柱体，其剖面形状可选自方形、矩形、十字形或其它多边形，且所述结合 部21的表面可选择形成至少一卡掣部211，所述卡掣部211可选自凸缘或凹槽。 如图5A所示，所述结合部21是用以结合于所述盖体11的第一结合座lll(或 第二结合座112)，所述卡掣部211则用以增加所述结合部21与所述第一结合 座lll(或第二结合座112)的结合强度。
请再参照图4、图5及图5A所示，本实用新型较佳实施例的二支撑臂22 是呈板片状。所述支撑臂22的一端连接所述结合部21，及其另一端连接所述 弯折部23。所述支撑臂22可相对于所述弯折部23或结合部21进行轻微的枢 转动作。再者，所述弯折部23位于所述支撑臂22及弹性臂24之间，所述弯 折部23的内表面形成凹陷状，使所述弯折部23的厚度小于所述支撑臂22及 弹性臂24，因而所述弯折部23相对于所述支撑臂22及弹性臂24具有较大的 弹性弯折裕度。
请再参照图4、图5及图5A所示，本实用新型较佳实施例的二弹性臂24 是呈板片状。所述弹性臂24的一端连接所述弯折部23，及其另一端连接所述 抵接部25。所述弹性臂24可相对于所述弯折部23或抵接部25进行轻微的枢 转动作。再者，所述抵接部25连接所述二弹性臂24的另一端。当所述抵接部 25抵接所述第一顶面121a(或第二顶面121b)时，所述弹性臂24及支撑臂22 可进行轻微的枢转动作，使所述顶撑件2产生一压縮变形量。
请再参照图4、图5及图5A所示，本实用新型较佳实施例的限位板26是 概呈U型，其可选自空心板片或实心板块的构造。所述限位板26形成在所述 结合部21、支撑臂22、弯折部23、弹性臂24及抵接部25共同围绕形成的一空间内。所述限位板26具有至少一基部261及一限位部262。在本实施例中， 所述限位板26选自空心板片，所以所述基部261的数量优选为2个。在其它 实施例中，若所述限位板26选自实心板块，则所述基部261的数量为1个。 所述至少一基部261是结合在所述支撑臂22与结合部21的结合位置上，而所 述限位部262则形成在所述限位板26的底端。再者，所述至少一基部261的 跨距优选大于所述限位部262的跨距，使所述限位板26形成上宽下窄状，这 样所述限位板26将具有较大的结构强度。在本实施例中，所述限位板26是选 择设计成不具弹性变形裕度；但在其它实施例中，所述限位板26亦可选择设 计成具有极小的弹性变形裕度。另外，本实用新型的顶撑件2可依实际需求选 择以一体成型或分开制造的方式设置所述限位板26。
请参照图5及图5A所示，当本实用新型较佳实施例的顶撑件2应用于一 晶圆盒1时，可将二个顶撑件2分别结合于所述盖体11的第一及第二结合座
111、 112上，其中所述第一及第二结合座111、 112之间具有一高度差，所述 第二结合座112相对较凸出；同时，所述第一顶面121a及第二顶面121b之间 具有一高度差，所述第二顶面121b相对较低。此时，所述顶撑件2的结合部 21可利用所述卡掣部211或黏着剂等稳固结合于所述第一及第二结合座111、
112。 如图5及图5A所示，当所述定位框架121正确的组装于所述座体12上 并使所述盖体11盖设于所述座体12上时，所述二顶撑件2的抵接部25恰可 分别轻微抵接于所述第一及第二顶面121a、 121b上，以便防止所述盖体11及 座体12之间的相对晃动。此时，所述顶撑件2的弹性臂24及支撑臂22可相 对所述弯折部23弹性压縮变形，但其压縮变形量是控制在一预定范围内。在 上述正常使用状态下，所述限位板26尚不致接触所述抵接部25的内表面。
请参照图6及图6A所示，当所述定位框架121未正确的组装于所述座体12上时，将造成所述定位框架121相对所述座体12形成些微倾斜。此时，若 将所述盖体11盖设于所述座体12上时，设于所述第一结合座111上的顶撑件 2的抵接部25将过度紧密的抵接于所述第一顶面121a上，同时设于所述第二 结合座112上的顶撑件2的抵接部25仅轻微抵接或未抵接所述第二顶面121b。 此时，就所述第一结合座111上的顶撑件2而言，所述限位板26将与所述抵 接部25的内表面接触，以限制所述弹性臂24及支撑臂22发生超过预定范围 的压縮变形量，从而避免所述顶撑件2由所述抵接部25或弯折部23的位置处 断裂。再者，当错误组装所述定位框架121而导致所述盖体11的盖设动作错 误时，本实用新型的限位板26亦会阻挡所述盖体1完全盖设于所述座体12上 (如图6下方所示)，以提供一防呆设计使自动化机台能即使判断所述盖体11 的盖设动作是否错误。藉此，使得作业人员可轻易的实时发现所述定位框架121 组装错误，以降低错误组装机率及增加使用便利性。在重新正确的组装所述定 位框架121及座体12并重新将所述盖体11盖设于所述座体12上之后，所述 盖体11及座体12将可用以平稳的运送晶圆，并使所述顶撑件2尽可能于正常 作用状态，以确保其使用寿命。同时，相较于现有构造，由于所述抵接部25 省略设置通孔，所以亦可强化所述抵接部25的结构避免断裂，亦有利于增加 结构强度及延长使用寿命。
值得注意的是，在上述实施例中，本实用新型是通过所述第一及第二结合 座lll、 112的高度差，以使二个相同尺寸的顶撑件2的高度能匹配于所述第 一顶面121a及第二顶面121b的高度差。然而，在其它实施例中，本实用新型 亦可使所述第一及第二结合座111、 112形成相同高度，但提供二个不同尺寸 的顶撑件2，通过所述二顶撑件2本身提供一高度差，并使所述第二结合座112 上的顶撑件2相对较凸出，藉此所述二顶撑件2同样能匹配于所述第一顶面121a及第二顶面121b的高度差。再者，在其它实施例中，本实用新型亦可利 用不限数量的顶撑件2，以结合所述晶圆盒1盖体11及座体12。
综上所述，相较于现有晶圆盒1的顶撑件13无法阻止所述盖体11及座体 12发生组装错误，而易导致所述顶撑件13断裂、晶圆晃动或影响后续操作等 缺点，图4的本实用新型通过在所述顶撑件2增设所述限位板26，其确实可提 供防呆设计，使自动化机台能实时判断是否所述盖体11的盖设动作因所述定 位框架121未正确组装而发生错误，以有效降低错误组装机率、增加使用便利 性及延长所述顶撑件25的使用寿命。
权利要求1、一种晶圆盒的顶撑构造，其是在一盖体内部的上表面的一第一结合座及一第二结合座上分别安装一顶撑件，以分别抵接一座体的一定位框架的一第一顶面及一第二顶面，其特征在于每一所述顶撑件包含一结合部，其结合于所述盖体的第一或第二结合座；二支撑臂，每一所述支撑臂的一端连接所述结合部；二弯折部，每一所述弯折部的一端连接所述支撑臂的另一端；二弹性臂，每一所述弹性臂的一端连接所述弯折部；一抵接部，其连接所述二弹性臂的另一端；及一限位板，其具有至少一基部及一限位部，所述基部结合在所述支撑臂与结合部的结合位置上，所述限位部用以适时抵接所述抵接部的内表面，以限制所述弹性臂及支撑臂的压缩变形量。
2、 如权利要求1所述的晶圆盒的顶撑构造，其特征在于所述座体的第一 及第二顶面之间具有一高度差，所述第二顶面相对较低。
3、 如权利要求2所述的晶圆盒的顶撑构造，其特征在于所述盖体的第一 及第二结合座之间具有一高度差，所述第二结合座相对较凸出。
4、 如权利要求3所述的晶圆盒的顶撑构造，其特征在于所述二顶撑件的 尺寸相同。
5、 如权利要求2所述的晶圆盒的顶撑构造，其特征在于所述二顶撑件的 尺寸不同，所述二顶撑件之间具有一高度差，所述第二结合座上的顶撑 件相对较凸出。
6、 如权利要求5所述的晶圆盒的顶撑构造，其特征在于所述盖体的第一 及第二结合座具有相同高度。
7、 如权利要求1所述的晶圆盒的顶撑构造，其特征在于所述至少一基部 的跨距大于所述限位部的跨距，使所述限位板形成上宽下窄状。
8、 一种晶圆盒的顶撑构造，其是在一盖体内部的上表面的一结合座上安装 一顶撑件，以抵接一座体的一定位框架的一顶面，其特征在于所述顶 撑件包含一结合部，其结合于所述盖体的结合座； 二支撑臂，每一所述支撑臂的一端连接所述结合部； 二弯折部，每一所述弯折部的一端连接所述支撑臂的另一端； 二弹性臂，每一所述弹性臂的一端连接所述弯折部； 一抵接部，其连接所述二弹性臂的另一端；及一限位板，其具有至少一基部及一限位部，所述基部结合在所述支撑 臂与结合部的结合位置上，所述限位部用以适时抵接所述抵接部的内 表面，以限制所述弹性臂及支撑臂的压縮变形量。
9、 如权利要求8所述的晶圆盒的顶撑构造，其特征在于所述至少一基部 的跨距大于所述限位部的跨距，使所述限位板形成上宽下窄状。
专利摘要本实用新型公开一种晶圆盒的顶撑构造，其是在一盖体内部的上表面的二结合座上分别安装一顶撑件，以分别抵接一座体的一定位框架的二不同顶面。所述顶撑件包含一结合部、二支撑臂、二弯折部、二弹性臂、一抵接部及一限位板。所述结合部用以结合于所述盖体的结合座。所述限位板形成在所述结合部、支撑臂、弯折部、弹性臂及抵接部共同围绕形成的一空间内。所述限位板用以适时抵接所述抵接部的内表面，以限制所述弹性臂及支撑臂的压缩变形量。
文档编号H01L21/67GK201327823SQ20082017884
公开日2009年10月14日 申请日期2008年11月12日 优先权日2008年11月12日
发明者张耀中, 翁连波 申请人:台湾积体电路制造股份有限公司