技术编号:6917305
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是涉及一种晶圆盒的顶撑构造,特别是涉及一种可用以防止错 误组装的晶圆盒顶撑构造。背景技术在现今的半导体晶圆制造厂中,每当晶圆表面形成微电子电路之后,数片 晶圆将会暂时储存于一晶圆盒内,以便保护所述晶圆及平稳的将所述晶圆运送 至下一加工机台位置或其它厂区。请参照图1所示,其概示一种现有的晶圆盒1,所述晶圆盒1包含一盖体11、 一座体12及二顶撑件13。所述盖体ll通常是选自透明材质制成的盒盖, 其用以盖设于所述座体12上,以密封所述座体12的上表面...
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