晶圆夹盘的制作方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及夹盘技术领域，尤其是一种晶圆夹盘。
【背景技术】
[0002]现有的晶圆都是拿在手上进行测量，操作时不方便。
【发明内容】
[0003]为了克服现有的技术的不足，本发明提供了一种晶圆夹盘。
[0004]本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种晶圆夹盘，包括夹盘座，所述夹盘座中间设有圆形夹孔，夹孔周边套由橡胶套，所述夹盘座底部设有防震垫脚，侧面设有可伸缩的工件台。
[0005]本发明的有益效果是，本发明可对晶圆进行固定方便测量，并且提供稳定支撑，确保数据准确。
【附图说明】
[0006]下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
[0007]图1是本发明的主视图。
[0008]图2是本发明的侧视图。
[0009]图中1、夹盘座，2、夹孔，3、橡胶套，4、防震脚垫，5、工件台。
【具体实施方式】
[0010]如图1-2是本发明的结构示意图，一种晶圆夹盘，包括夹盘座1，所述夹盘座1中间设有圆形夹孔2，夹孔2周边套由橡胶套3，所述夹盘座1底部设有防震垫脚4，侧面设有可伸缩的工件台5。本发明可对晶圆进行固定方便测量，并且提供稳定支撑，确保数据准确。
【主权项】
1.一种晶圆夹盘，包括夹盘座(1 )，其特征是，所述夹盘座(1)中间设有圆形夹孔(2)，夹孔(2)周边套由橡胶套(3)，所述夹盘座(1)底部设有防震垫脚(4)，侧面设有可伸缩的工件台(5)。
【专利摘要】本发明涉及夹盘技术领域，尤其是一种晶圆夹盘，包括夹盘座，所述夹盘座中间设有圆形夹孔，夹孔周边套由橡胶套，所述夹盘座底部设有防震垫脚，侧面设有可伸缩的工件台。本发明可对晶圆进行固定方便测量，并且提供稳定支撑，确保数据准确。
【IPC分类】H01L21/687
【公开号】CN105304548
【申请号】CN201510668908
【发明人】戴惠宇
【申请人】常州隆德电气有限公司
【公开日】2016年2月3日
【申请日】2015年10月13日