技术编号：6918140
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及葡糖酸盐在半导体晶片制备中的用途，优选在所述制备方法中对半导体晶片进行抛光中的用途，并涉及一种抛光剂，所述抛光剂基于研磨材料和/或胶体以及二琥珀酸/盐(disuccinate)或者甲基甘氨酸二乙酸(MGDA)和葡糖酸盐的混合物。用于抛光半导体晶片的方法是公知的。在这些方法中，半导体晶片移动跨过覆盖有抛光布的抛光板，其中引入了抛光剂。所述抛光剂含有研磨材料或者胶体，而且是酸性、中性或者碱性的——具体取决于应用领域。半导体晶片，例如硅半导体晶片，是没...
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