技术编号:6921017
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体制造领域,特别涉及半导体器件制造领域。 背景技术在过去的几十年来,在集成电路中特征的縮放比例已成为日益增长的半导体产业 的推动力。在有限的半导体芯片空间上把特征尺寸縮到越来越小能增加功能单元的密 度。例如,縮小的晶体管尺寸允许将更多的存储器件集成在一个芯片,从而增加所制 造的产品容量。然而,使容量越来越大的驱动力但并非没有任何问题。优化每一个器 件的性能的必要性变得越来越重要。通常非易失性半导体存储器使用堆垛浮栅型的场效应晶体管。在这种晶体...
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