技术编号:6921134
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。相关申请的交叉引用本申请基于并且要求以2001年3月29日申请的在先日本专利申请P2001-95038、2001年4月20日申请的在先日本专利申请P2001-123632、2001年4月20日申请的在先日本专利申请P2001-123633、2002年2月25日申请的在先日本专利申请P2002-47944为优先权,这些申请的内容引入作为参考。背景技术本发明涉及混装逻辑电路和存储器的系统LSI等的半导体器件的制造方法和半导体器件,尤其涉及系统LSI的逻辑电路部...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。