技术编号:6922784
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及即使经受紫外线照射也能够保持优异的绝缘性的栅极绝缘 膜,进一步涉及使用该栅极绝缘膜制作的薄膜晶体管。背景技术目前,作为电子纸等柔性器件,人们对使用了聚碳酸酯、聚对苯二曱 酸乙二醇酯等塑料基板的有机晶体管(薄膜晶体管)进行了研究,但由于这 些塑料基板在加热时轻微伸长、收缩的问题,因此急需提高其耐热性(低热 膨胀特性)。另一方面,为了减小对塑料基敗施加的热应力,对有机薄膜晶体管的 制作工序的低温化也进行了研究。在制作有机薄膜晶体管时, 一个要求最 高...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。