技术编号：6923614
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及。 背景技术电容器为通常用于集成电路的制造中(例如，在DRAM电路中)的一种类型的组 件。电容器是由通过非导电介电区域隔开的两个导电电极组成。随着集成电路密度增加， 尽管典型的减小的电容器区域，但对于维持足够高的存储电容存在持续的挑战。与电容器 的垂直尺寸相比，集成电路密度的增加通常导致电容器的水平尺寸上的较大减小。在许多 实例中，已增加电容器的垂直尺寸。一种制造电容器的方式为最初形成绝缘材料，在所述绝缘材料内形成电容器存储 节点电极。举例来说，...
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