技术编号：6929607
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一种半导体装置，特别是有关于一种电感元件。 背景技术电感元件为射频(radio frequency,RF)电路的常用元件，其是利用特殊的射频制 程形成。为了使电感元件具有较低的电阻值和较佳品质系数(Q factor)，射频制程是特别 使用一厚度非常厚的金属层形成电感元件。然而，上述的厚金属层会使制程成本大为增加。为了制程成本的考量，可利用成本较低的标准逻辑制程(logic process)来形成 电感元件。然而，由于利用标准逻辑制程所制成的电...
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