技术编号:6933317
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明关于一种传输机构,尤其涉及一种具有调整装置的传输机构以及具有该传输机构的湿制程设备。背景技术在电子制造工业生产中,尤其是制造液晶显示面板的过程中,对基板的表面进行 湿化学处理是一种常见的操作过程,有多道制程会涉及湿化学处理。所谓湿化学处理是指 采用化学溶液对基板的表面进行腐蚀、沉积薄膜或清洗的操作过程。例如,印刷线路板制造 过程中的电子线路的定义和线路板的清洗步骤就属于湿化学处理过程。湿化学处理设备主 要是让基板承载于传动机构上,并经由传输系统的传动...
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