技术编号:6933690
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一种微粒检测方法及其装置,且特别是有关于一种在芯片上检测 微粒的方法及其装置。背景技术随着消费性电子产品的发展,对于电子产品尺寸的要求越来越严格。导因于半导 体制程的进步,芯片尺寸可以达到纳米(nano-meter)等级。然而,随着芯片尺寸越小以及 制程越精密,制程中所产生的微粒(particle)将会影响到电子产品良率以及电路特性。因 此,在制程过程当中,必须将存有微粒的电路检测出来。图1为检测芯片上微粒的示意图。请参照图1,在一般的微粒检...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。