专利名称：微粒检测方法及其装置的制作方法
技术领域：
本发明是有关于一种微粒检测方法及其装置，且特别是有关于一种在芯片上检测 微粒的方法及其装置。
背景技术：
随着消费性电子产品的发展，对于电子产品尺寸的要求越来越严格。导因于半导 体制程的进步，芯片尺寸可以达到纳米(nano-meter)等级。然而，随着芯片尺寸越小以及 制程越精密，制程中所产生的微粒(particle)将会影响到电子产品良率以及电路特性。因 此，在制程过程当中，必须将存有微粒的电路检测出来。图1为检测芯片上微粒的示意图。请参照图1，在一般的微粒检测方法中，通常会 施加电压于芯片上其一引脚L1并量测相邻之引脚L2上的电压，来得知引脚L1与引脚L2 之间的电阻性阻抗，进而判断两引脚之间是否存在微粒。但是，实际上微粒不一定会与两引 脚接触而呈现电阻性阻抗，也有可能形成非接触性的电容性阻抗。图2为另一检测芯片上微粒的示意图。请参照图2，在此微粒检测方法中，经由施 加电压于其一引脚L1且量测相邻之引脚L2上电压随时间变化的速度大小，可以判断是否 有微粒存在。然而，微粒所形成的电容性阻抗可能使引脚L1及引脚L2有正负极性之分。 当所施加的电压不符合引脚L1或L2之极性时，便会量测不到微粒所形成的电容性阻抗。 另外，在芯片内部引脚也可能耦接具有极性的电子组件，例如保护二极管以作静电防护之 用。当所施加的电压使电子组件作动而漏电时，也会量测不到微粒所形成的电容性阻抗。因 此，单向量测电容性阻抗容易造成检测微粒失误。另一方面，为了检测芯片上的微粒，通常会参考一临界值与相邻引脚L2上电压进 行比较。也就是说，经由判断受电阻性阻抗或电容性阻抗影响所量测到的电压是否超过临 界值，可以得知是否存在微粒。然而，临界值的设定常常需随制程的不同而因应改变，甚至 在相同制程下受芯片内不同电路之组件特性的影响，临界值的设定也会有所不同。为了维 持出厂的芯片的可用性，往往会设定严苛的临界值，也因此容易会误判芯片内存有微粒而 将良好电路检测为不良电路，不仅造成时间与资源的浪费，也降低了芯片的良率。
发明内容
本发明提供一种微粒检测方法及其装置，其可以提高微粒检测的准确性，以及降 低判断微粒存在与否所参考的临界值受不同制程或芯片内电路特性的影响。本发明提供一种微粒检测方法。首先，提供脉冲电压至多条引脚中第一引脚，并且 经取样时间后撷取多条引脚中第二引脚上的第一取样电压，其中第二引脚相邻第一引脚； 接着，提供脉冲电压至第二引脚并且经取样时间后量测第一引脚上的一第二取样电压；之 后，依据多条引脚上多个取样电压的统计值，分别调整第一取样电压及第二取样电压至以 预定电压为基准的第一侦测电压及第二侦测电压；最后，当第一侦测电压或第二侦测电压 超出预定范围时，则判断第一引脚与第二引脚之间存有微粒。
本发明提供一种微粒检测装置，其包括电压产生单元、电压量测单元与处理单元。 电压产生单元在不同时间下分别提供脉冲电压至多条引脚中第一引脚及第二引脚，其中第 二引脚相邻第一引脚。电压量测单元耦接电压产生单元。当电压产生单元提供脉冲电压至 第一引脚时，电压量测单元经取样时间后量测第二引脚上的第一取样电压。而且，当电压产 生单元提供脉冲电压至第二引脚时，电压量测单元经取样时间后量测第一引脚上的第二取 样电压。处理单元耦接电压量测单元。处理单元依据多条引脚上多个取样电压之统计值， 分别调整第一取样电压及第二取样电压至以预定电压为基准的第一侦测电压及第二侦测 电压。当第一侦测电压或第二侦测电压超出预定范围时，处理单元则判断第一引脚与第二 引脚之间存有微粒。基于上述，本发明的微粒检测方法及其装置在不同时间下分别施加脉冲电压于两 相邻引脚，并且双向量测两引脚上电压的变化速度，以确保两引脚间所量测的电容性阻抗 正确，以及提高微粒检测的准确性。另外，本发明的微粒检测方法及其装置更依据多条引脚 上取样电压的统计值，调整取样电压为以预定电压为基准的侦测电压。此侦测电压为其对 应的取样电压与多条引脚上统计电压之间的相对关系。藉此，依据侦测电压与预定范围的 比较结果来判断微粒是否存在的方式，可提高此微粒检测方法及其装置于检测不同制程下 芯片的通用性，以及降低微粒检测失误。为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附图式 作详细说明如下。
图1为检测芯片上微粒的示意图。图2为另一检测芯片上微粒的示意图。图3本发明的一实施例的微粒检测装置的示意图。图4A为本发明实施例图3中脉冲电压的曲线图。图4B为本发明实施例图3中引脚电压变化的曲线图。图5为本发明实施例图3中引脚上所量测的电压变化的曲线图。图6为本发明实施例图3中多条引脚上所分别量测的取样电压的示意图。图7为本发明实施例图6中分别对应多条引脚的侦测电压的示意图。图8为本发明的一实施例的微粒检测方法的流程图。主要组件符号说明L1、L2:引脚302 微粒检测装置304:电压产生单元306 电压量测单元308 处理单元310:多任务器312 芯片S801 S806 本发明的一实施例的微粒检测方法的步骤
具体实施例方式图3为本发明的一实施例的微粒检测装置的示意图。请参照图3，微粒检测装置 302适于检测芯片312上多条引脚之间的微粒，在此仅绘示引脚L1及L2示意之。微粒检测 装置302包括电压产生单元304、电压量测单元306与处理单元308。在本实施例中，微粒检 测装置302为通过多任务器310与芯片312上相邻的两引脚L1与引脚L2连接。请参照图 4A，为了检测微粒是否存在于引脚L1与引脚L2之间，电压产生单元304经由多任务器310 的切换(如多任务器310内实线所示)，而施加脉冲电压于引脚L1上。请参照图4B，经一 取样时间T后，电压量测单元306便通过多任务器310的切换(如多任务器310内实线所 示)，而量测引脚L2上的取样电压VS1，以得知引脚L2上电压随时间变化的速度。微粒所形成的电容性阻抗可能使引脚L1及引脚L2有正负极性之分。倘若所施加 的脉冲电压不符合引脚L1或L2的极性时，便会量测不到微粒所形成的电容性阻抗。因此， 本实施例的微粒检测方法在不同时间下分别施加脉冲电压于两相邻引脚，并且双向量测两 引脚上电压的变化速度，以确保能量测到两引脚间的电容性阻抗。也就是说，在不同时间 下，电压产生单元304亦经由多任务器310的切换(如多任务器310内虚线所示)，而施加 脉冲电压于引脚L2上，经取样时间T之后，电压量测单元306经由多任务器310的切换(如 多任务器310内虚线所示)，而量测引脚L1上的取样电压VS2，以得知引脚L1上电压随时 间变化的速度。图5为本发明实施例图3中引脚上所量测的电压变化的曲线图。请参照图5，两引 脚L1及L2因连接芯片内部电路而可能产生有电容性阻抗，而曲线VC1便为两引脚之间未 存有微粒情况下从引脚上所量测的电压变化。曲线VC2为施加脉冲电压于两引脚L1及L2 之其一时，从两引脚L1及L2的另一所量测的电压变化。如曲线VC2所示，当两引脚L1及 L2之间存在微粒时，微粒所形成的电容性阻抗会造成引脚上所量测的电压变化缓慢。举例来说，在两引脚L1及L2之间未存有微粒的情况下，经取样时间T后所量测的 取样电压应为曲线VC1所示的电压VI。然而，如曲线VC2所示，受到微粒所形成的电容性 阻抗的影响，实际上经取样时间T后从引脚L1/L2所量测的取样电压VS1/VS2会高于电压 VI。因此，可利用弓丨脚上所量测的取样电压来检测微粒。图6为本发明实施例图3中多条引脚上所分别量测的取样电压的示意图。请参照 图6，本实施例对芯片上多条引脚进行上述实施例图3所述的微粒检测并且取得取样电压， 其中第11引脚所量测的取样电压高于其它引脚的取样电压。从图6可以得知，在引脚之间 未存有微粒情况下，引脚上所量测的取样电压在位准电压4伏特附近。针对此制程下所生 产的芯片而言，以往设计者可能会参考一临界值例如为5伏特与各引脚的取样电压进行比 较，以检测出第11引脚与其相邻引脚之间存有微粒。但是，判定微粒是否存在所参考的临界值会随制程上使用材料不同或芯片电路特 性而有所不同。倘若临界值设定不当，便很容易造成过度误排除微粒，导致良好的芯片误判 为损坏。因此，为了提高微粒检测于不同制程下的通用性，本实施例依据多条引脚上取样电 压的统计值，调整各引脚上取样电压为以一预定电压为基准的侦测电压，使侦测电压可表 示其对应的取样电压与多条引脚上统计电压之间的相对关系，并且进一步地进行微粒的判 别。图7为本发明实施例图6中分别对应多条引脚的侦测电压的示意图。请参照图7，假设上述的统计值为多条引脚上取样电压的平均值，然并不局限于此。本实施例将各引脚 上所量测的取样电压与上述平均值之差作为各引脚的侦测电压，以调整各引脚上取样电压 为以预定电压(例如0伏特)为基准的侦测电压。藉此，本实施例的微粒检测在不同芯片 制程下具有通用性，可不受引脚上所量测的取样电压在不同芯片制程下可能位于不同位准 电压的影响。接着，当引脚所对应的侦测电压超出一预定范围时，便可判断此引脚与其相邻 之引脚之间存有微粒。依据上述实施例，在此可归纳为下列的方法流程。图8为本发明的实施例的微粒 检测方法的流程图。请参照图8，首先，将脉冲电压提供至第一引脚(步骤S801)，并且经取 样时间后从相邻第一引脚的第二引脚上撷取对应第二引脚的取样电压(步骤S802)。接着， 将脉冲电压提供至第二引脚(步骤S803)，并且经取样时间后从第一引脚上撷取对应第一 引脚的取样电压(步骤S804)。之后，依据多条引脚上的取样电压的统计值，将各引脚所对 应的取样电压调整至以预定电压为基准的侦测电压(步骤S805)。当第一引脚所对应的侦 测电压或者第二引脚所对应的侦测电压超出预定范围时，则判断第一引脚与该第二引脚之 间存有微粒(步骤S806)。综上所述，上述实施例之微粒检测方法及其装置可检测引脚之间是否存在微粒。 在不同时间下分别施加脉冲电压于两相邻引脚，并且双向量测两引脚上取样电压，以确保 能不受电容极性而能量测到电容性阻抗，以及提高微粒检测的准确性。另外，上述实施例依 据多条引脚的取样电压的统计值，将各引脚所对应的取样电压调整为以预定电压为基准的 侦测电压。经由将各引脚所对应的侦测电压与预定范围进行比较，便可判断各引脚及其相 邻的引脚之间是否存在微粒。藉此，可以提高微粒检测于不同制程或者不同电路特性下的 通用性，以及降低微粒检测失误。虽然本发明已以实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明，任何所属技术领域 中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许之更动与润饰，故本发明 的保护范围当视后附的权利要求书所界定者为准。
权利要求
一种微粒检测方法，适于检测芯片上的微粒，包括将脉冲电压提供至多条引脚中的第一引脚并且经取样时间后撷取该些引脚中的第二引脚上的第一取样电压，其中该第二引脚相邻该第一引脚；将该脉冲电压提供至该第二引脚并且经该取样时间后量测该第一引脚上的第二取样电压；依据该些引脚上多个取样电压的统计值，分别将该第一取样电压及该第二取样电压调整至以预定电压为基准的第一侦测电压及第二侦测电压；以及当该第一侦测电压或该第二侦测电压超出预定范围时，则判断该第一引脚与该第二引脚之间存有微粒。
2.如权利要求1所述的微粒检测方法，其中该统计值为该些引脚上多个取样电压的平 均电压值。
3.如权利要求2所述的微粒检测方法，其中该第一侦测电压为该第二取样电压与该统 计值之差，且该第二侦测电压为该第一取样电压与该统计值之差。
4.一种微粒检测装置，适于检测芯片上的微粒，包括电压产生单元，在不同时间下分别将脉冲电压提供至多条引脚中的第一引脚及第二引 脚，其中该第二引脚相邻该第一引脚；电压量测单元，耦接该电压产生单元，当该电压产生单元将该脉冲电压提供至该第一 引脚时，则经取样时间后量测该第二引脚上的第一取样电压，且当该电压产生单元将该脉 冲电压提供至该第二引脚时，则经该取样时间后量测该第一引脚上的第二取样电压；以及处理单元，耦接该电压量测单元，依据该些引脚上多个取样电压的统计值，分别将该第 一取样电压及该第二取样电压调整至以预定电压为基准的第一侦测电压及第二侦测电压， 并且当该第一侦测电压或该第二侦测电压超出预定范围时，则判断该第一引脚与该第二引 脚之间存有微粒。
5.如权利要求4所述的微粒检测装置，其中该统计值为该些引脚上多个取样电压的平 均电压值。
6.如权利要求5所述的微粒检测装置，其中该第一侦测电压为该第一取样电压与该统 计值之差，且该第二侦测电压为该第二取样电压与该统计值之差。
全文摘要
在此提出一种微粒检测方法与装置。在微粒检测方法中，首先将脉冲电压提供至多条引脚中第一引脚，并且经取样时间后撷取这些引脚中第二引脚上的第一取样电压，其中第二引脚相邻第一引脚。接着，将脉冲电压提供至第二引脚，并且经取样时间后撷取第一引脚上的第二取样电压。之后，依据这些引脚上多个取样电压的统计值，分别调整第一取样电压及第二取样电压至以预定电压为基准的第一侦测电压及第二侦测电压。当第一侦测电压或第二侦测电压超出预定范围时，则判断第一引脚与第二引脚之间存有微粒。
文档编号H01L21/00GK101859719SQ20091013431
公开日2010年10月13日 申请日期2009年4月10日 优先权日2009年4月10日
发明者李振贤 申请人:奇景光电股份有限公司