技术编号:6935082
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种,尤其涉及一种分离栅型 (split gate type)半导体存储器器件。背景技术非易失性半导体存储器器件能够电擦除和存储数据,即使没有向该存储 器器件供电也能保存数据,因此其被越来越多地应用到包含有移动通信系统 和存储卡的各种领域。在这些非易失性存储器器件中,闪存器件是这样一种存储器器件其能 够运行每个单元的程序,并且能够擦除每个区块或扇区的数据。由于闪存器件使用导电材料诸如掺杂的多晶硅作为浮置栅极(floatinggate)的材料,因此...
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