技术编号:6936135
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。fcfc^方法和^^其方^^造半"H^装置的方法本申请是2005年4月28日提交的、申请号为200510081724. 4、发明名称 为"〗|^^1射方法和使用其方法制造半"!^装置的方法"的申请的分案申请。 絲领域本发明涉^-"种、W6ll射方法,特别涉及一种通过自动聚傳4^i对辐射目 标的、 ^織进行控制的' >驗方法。另夕卜,本发明还涉及一种采用这种激 ^4t方法制it半"!M^装置的方法。背景技术最a年,在一个衬底上制选,膜晶体管(TFT)的...
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