技术编号:6936202
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种输送设置在曝光装置的中间掩模的自动机械,具体地说,涉及一 种输送曝光装置的中间掩模的机器人夹持器(robot gripper),该夹持器即使没有物理性 接触也可正确检测夹持器上是否放着中间掩模(reticle,或投影掩模版)。背景技术通常,曝光装置是指在半导体或TFT LCD等需要电路工序的生产线上,利用照相机 原理,将光照射在中间掩模等的光掩膜上,从而在半导体晶片或TFT LCD玻璃基板上刻划电 路的装置。 其中,尤其是在LCD的玻璃基板上...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。