专利名称：用于输送曝光装置的中间掩模的机器人夹持器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种输送设置在曝光装置的中间掩模的自动机械，具体地说，涉及一 种输送曝光装置的中间掩模的机器人夹持器(robot gripper)，该夹持器即使没有物理性 接触也可正确检测夹持器上是否放着中间掩模(reticle,或投影掩模版)。
背景技术：
通常，曝光装置是指在半导体或TFT LCD等需要电路工序的生产线上，利用照相机 原理，将光照射在中间掩模等的光掩膜上，从而在半导体晶片或TFT LCD玻璃基板上刻划电 路的装置。 其中，尤其是在LCD的玻璃基板上刻划电路的曝光装置，一般在支撑各种部件的 平板上侧配置曝光部，分别在曝光部的上下配置中间掩模和玻璃板，从而使中间掩模的图 案经由曝光部刻划在玻璃表面上。 并且，在上述曝光部的一侧包括可旋转地安装有多个中间掩模的轮，以使中间掩 模可平稳交替，且在平板的一侧包括容纳并装载多个中间掩模的盒(cassette)以及将装 载在盒中的中间掩模供给上述轮且将结束曝光作业的中间掩模再次返回到盒中的自动机 (robot,或机器人)。 尤其是，如图5和6所示，如上所述的在轮和盒之间输送中间掩模的自动机包括拾 取中间掩模1并进行固定的夹持器42，上述夹持器42包括侧面支撑件421 ，朝主体的前方 两侧同时支撑中间掩模1的两侧下部边缘和与其对应的下面两侧；上面支撑件422，其上下 升降，用于固定中间掩模l的上面；以及致动器(actuator)423，用于驱动上述侧面支撑件 421和上面支撑件422。 并且，在上述夹持器42主体的大致中央部前端设置感应开关43，用于确认夹持器 42上是否安装中间掩模1，一般情况下，上述感应开关43的一端与中间掩模1的外侧接触， 且沿上下方向弹性移动，根据此时感应开关43是否移动，来检测中间掩模是否被安装。
但是，如上所述的感应开关具有由于弹性恢复至原位的特征，因此，当夹持器将中 间掩模放在轮上时，感应开关与中间掩模的接触被解除，并迅速返回至原位，这时，由于感 应开关的弹性恢复力，振动和冲击传递给放在轮上的中间掩模，由于该振动和冲击，使得中 间掩模的设置位置发生微细误差。 并且，如上所述的中间掩模的位置误差给要求超精密加工的曝光作业过程带来致 命影响。
发明内容
为了解决上述问题，本发明的目的在于提供一种用于输送中间掩模的自动机夹持 器，该夹持器可最大限度降低通过夹持器输送的中间掩模被放在轮上时受到的振动和冲 击，且可检测到是否安装了中间掩模。 并且，本发明的目的在于防止非接触式传感器物理地接触中间掩模。
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并且，本发明的目的在于可简单检测出中间掩模以扭曲状态设置在夹持器上。
为了实现上述目的，本发明提供一种用于输送中间掩模的自动机夹持器，其设置 在安装于曝光装置并沿X、Y、Z轴方向和旋转方向移动的移动部，且突出形成有用于支撑中 间掩模侧面边缘的一对侧面支撑件，以便往返于盒和轮之间时输送中间掩模，该夹持器还 包括用于支撑中间掩模上面的一对上面支撑件，上述用于输送中间掩模的机器人夹持器的 特征在于当中间掩模设置在上述夹持器上时，在与中间掩模相对的一侧面上设置有用于 检测是否安装了中间掩模的非接触式传感器。 另外，在与上述中间掩模对应的上述夹持器的上面形成凹入的传感器安装槽，以 便插入上述非接触式传感器。 另外，与上述上面支撑件邻接并间隔设置有一对上述传感器安装槽，在上述传感 器安装槽中分别插入非接触式传感器。 从而，本发明提供一种用于输送中间掩模的夹持器，该夹持器可最大限度降低通 过夹持器输送的中间掩模被放在轮上时受到的振动和冲击，且可检测是否安装了中间掩 模，从而，在将安装在夹持器的中间掩模放在轮的过程中，其可防止中间掩模的位置由于振 动和冲击而出现的微小移动，从而中间掩模被放在轮上时可被更加正确地设置，并且可提 高加工精度，降低不良率。 并且，本发明形成有传感器安装槽，防止了非接触式传感器与中间掩模物理性接 触，从而消除了非接触式传感器与中间掩模之间的干涉，可更加顺利地将中间掩模安装在 夹持器上。 另外，本发明形成有相互隔开设置的一对传感器安装槽，可简便检测出中间掩模 是否以扭曲状态安装在夹持器上，从而更加正确地检测出中间掩模状态。
图1是本发明涉及的曝光装置的一立体图。图2是图1的正视图。图3是本发明一实施例涉及的夹持器的放大立体图。图4是图3的B部分的放大截面图。图5是现有的用于输送中间掩模的机器人夹持器的放大立体图。图6是图5的A部分的放大截面图。附图标记l中间掩模2玻璃10平板20曝光部30盒 40自动机(robot)42移动部42夹持器421侧面支撑件422上面支撑件423致动器 424非接触式传感器45传感器安装槽 50轮51旋转支架52驱动轴
具体实施例方式
下面，参照附图详细说明本发明的优选实施例。 图1是本发明涉及的曝光装置的一立体图，图2是图1的正视图，如图所示，本发 明涉及一种用于输送中间掩模1的自动机40，该自动机将装载在曝光装置的盒30中的中间 掩模1输送到设置在曝光部20 —侧的轮50上，尤其是，涉及这样一种用于输送曝光装置的 中间掩模的机器人夹持器，该夹持器具有用于感应自动机40的夹持器42上是否安装中间 掩模1的非接触式传感器，从而消除了将中间掩模1放在轮上时产生的振动和冲击，可正确 地设置中间掩模l的位置。 上述曝光部20配置在平板10上部，该平板与构成曝光装置的各种部件相结合，在 曝光部20的下部配置用于显示装置的玻璃2，在曝光部20的上部配置用于在上述玻璃2上 曝光电路且起底片(film)作用的中间掩模l，从而中间掩模l的图案通过曝光部20形成在 玻璃2表面。 如上所述，上述中间掩模1上形成有构成电路的超微细图案，上述中间掩模1形成 为板材状，安装在后述的轮50上，且固定设置在上述的曝光部20的上部，以使形成在中间 掩模1的图案通过曝光部20曝光并刻画在玻璃2表面上。 上述盒30用于容纳排列整齐的多个中间掩模1，通过后述的自动机40进行有计划 的取出和接收，在内侧形成安装有多个中间掩模1的容纳空间，其一侧被开放，以使中间掩 模l的取出和接收变得容易。 上述自动机40设置在上述曝光部20和盒30之间，用于输送中间掩模l，其包括 沿X、 Y、 Z轴的三个轴方向和旋转方向运动的移动部41，在上述移动部41的上端包括用于 固定中间掩模l的夹持器(gripper)42，以使夹持器42稳定且牢固地夹持中间掩模l，平稳 输送。 上述轮50使通过自动机40从盒30取出的中间掩模1被固定的同时按照预先设 定的作业计划将中间掩模1自动地配置在曝光部20上，在安装于上述曝光部20 —侧的驱 动轴52的上端，以圆形形状设置分别安装有中间掩模1的多个旋转支架51，从而在一个轮 50上同时安装多个中间掩模1，多个旋转支架51以驱动轴52为中心同时旋转，从而输送中 间掩模1，以使中间掩模1配置在曝光部20上，结束曝光作业的中间掩模1再次被旋转，以 被输送至曝光部20的外侧。 图3是本发明一实施例涉及的夹持器的放大立体图，图4是图3的B部分的放大 截面图，如图3和图4所示，上述的夹持器42包括用于支撑中间掩模1的两侧面和与其邻 接的下面边缘的侧面支撑件421以及用于支撑中间掩模l的上面的上面支撑件422，还包括 分别沿左右方向和上下方向驱动上述侧面支撑件421和上面支撑片422的致动器423，从而 通过致动器423的动作，中间掩模1被安装在夹持器42上，或者被解除安装。
并且，在与上述中间掩模1对应的夹持器42的上面设置有由一般的光传感器或超 音波传感器等构成的非接触式传感器44，用于感应是否安装中间掩模1，从而根据是否安 装了中间掩模1来控制自动机40的整体运转。 从而，与现有的接触式感应开关不同，即使没有与中间掩模1直接接触，非接触式 传感器44也可以感应出是否安装了中间掩模l，从而从根本上防止将中间掩模1放在轮50 上的过程中因感应开关产生的振动和冲击，且可防止由此带来的中间掩模1的位置误差。
另外，在上述夹持器42的上面形成有用于插入上述非接触式传感器44的凹入形 成的传感器安装槽45，使非接触式传感器44与中间掩模1之间保持一定距离，从而防止非 接触式传感器44给中间掩模1带来的干扰等物理性影响。 并且，与上述一对上面支撑件422邻接且隔开设置一对上述传感器安装槽45，非 接触式传感器44分别插在一对传感器安装槽45的内侧，当中间掩模1以扭曲状固定于夹 持器42时，只被某一侧的非接触式传感器44感应，可感应到多种形状的安装状态。
权利要求
一种用于输送曝光装置的中间掩模的机器人夹持器，其设置在移动部(41)，所述移动部安装在曝光装置上并沿X、Y、Z轴方向和旋转方向运动，所述机器人夹持器上突出形成有用于支撑中间掩模(1)侧面边缘的一对侧面支撑件(421)，以便往返于盒(30)和轮(50)之间时运送中间掩模(1)，所述机器人夹持器还包括用于支撑中间掩模的上面的一对上面支撑件(422)，其特征在于当中间掩模(1)设置在所述夹持器(42)上时，在与中间掩模(1)相对的一侧面上设置有用于检测是否安装了中间掩模(1)的非接触式传感器(44)。
2. 根据权利要求1所述的用于输送曝光装置的中间掩模的机器人夹持器，其特征在于，在与所述中间掩模(1)对应的所述夹持器(42)的上面形成凹入的传感器安装槽(45)，用于插入所述非接触式传感器(44)。
3. 根据权利要求2所述的用于输送曝光装置的中间掩模的机器人夹持器，其特征在于，与所述上面支撑件(422)邻接设置一对所述传感器安装槽(45)，并使所述传感器安装槽(45)隔开设置，非接触式传感器(44)分别插在所述传感器安装槽(45)的内侧。
全文摘要
本发明公开一种用于输送曝光装置的中间掩模的机器人夹持器，其最大限度降低中间掩模被放在轮上时受到的振动和冲击，感应是否安装了中间掩模。该夹持器设置在移动部，移动部安装在曝光装置上并沿X、Y、Z轴方向和旋转方向运动，该夹持器形成有用于支撑中间掩模侧面边缘的一对侧面支撑件，以便往返于盒和轮之间时输送中间掩模，该夹持器还包括用于支撑中间掩模上面的一对上面支撑件，当中间掩模设置在夹持器上时，在与中间掩模相对的一侧面上设置有感应是否安装了中间掩模的非接触式传感器。从而防止在将中间掩模放在轮的过程中中间掩模的位置由于振动和冲击微细移动，从而中间掩模被放在轮上时被更加正确配置，并提高加工精度，降低不良率。
文档编号H01L21/67GK101727016SQ200910165289
公开日2010年6月9日 申请日期2009年8月14日 优先权日2008年10月22日
发明者宋旺圭 申请人:De&T株式会社