技术编号:6938293
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造领域,特别涉及。 背景技术半导体集成电路是采用半导体制作工艺形成的。例如,在单晶硅片上制作上许 多晶体管及电阻、电容、电感等元件,并按照多层布线或遂道布线的方法将元件组合成 完整的电子电路。半导体集成电路广泛运用于各种电子产品中,例如手机、电脑、个 人游戏装置、导航装置等。电感元件的主要作用是对交流信号进行隔离、滤波或与电容器、电阻器等组成 谐振电路。由于电感元件发挥着重要的作用,因此在芯片中半导体电感元件应用也比较 广泛。在现有技术中...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。