技术编号:6939234
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及硅材处理设备,尤其涉及用于在清洗设备和湿法处理设备中的一种带有溢流盒的反应槽。背景技术在太阳能清洗设备和湿法处理设备中,尤其是链式太阳能清洗设备和湿法处理设备中,被处理的硅片在和化学药品发生反应时,会造成反应槽内出现区域性药液浓度不一致的问题,这将导致硅片表面处理的均勻性大大降低,因此,造成产品报废率高,增加生产成本,阻碍技术的发展。实用新型内容本实用新型为了解决现有技术的反应槽内区域性药液浓度不一致的的技术问题, 提出一种可以加快反应槽内的...
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