专利名称：一种带有溢流盒的反应槽的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及硅材处理设备，尤其涉及用于在清洗设备和湿法处理设备中的一种带有溢流盒的反应槽。
背景技术：
在太阳能清洗设备和湿法处理设备中，尤其是链式太阳能清洗设备和湿法处理设备中，被处理的硅片在和化学药品发生反应时，会造成反应槽内出现区域性药液浓度不一致的问题，这将导致硅片表面处理的均勻性大大降低，因此，造成产品报废率高，增加生产成本，阻碍技术的发展。
实用新型内容本实用新型为了解决现有技术的反应槽内区域性药液浓度不一致的的技术问题， 提出一种可以加快反应槽内的换液速度，有效减少反应槽内各区域液体的差异性的带有溢流盒的反应槽。为解决所述技术问题，本实用新型提出一种带有溢流盒的反应槽，其包括反应槽体，设于该反应槽体内部上部的运输滚筒。所述的相邻两运输滚筒之间设有溢流盒，而溢流盒的下面设有联通外部液体循环系统的管路。其中，所述溢流盒沿所述运输滚筒的轴线展开设置，即可以是一个整体的溢流盒， 也可以是由几个较小的溢流盒间隔的沿运输滚筒的轴线设置。较优的，所述溢流盒的截面为“U”型。本实用新型在反应槽体内的运输滚筒之间设置溢流盒，当槽体内药液液面到达一定高度时，药液就可从流入溢流盒，并通过溢流盒下面的管路进入药液循环系统，从而加快反应槽内的药液更换速度，以便有效地减少反应槽内各区域药液浓度的差异性，从而使硅片表面处理更均勻。相比传统的溢流装置，新的溢流盒能在槽体内随意分散开，克服了不同区域药液浓度不一致的问题。因此，提高了产品合格率，降低了生产成本，促进了技术进步。
以下结合附图和实施例对本实用新型作出详细的说明，其中
图1为本实用新型较佳实施例的剖视图。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型较佳实施例提供的一种带有溢流盒的反应槽，其包括反应槽体1，设于该反应槽体1内上部的运输滚筒2，而相邻两运输滚筒2之间设有溢流盒3， 而溢流盒的下面设有联通外部液体循环系统的管路4。如图1所示，本实施例中，反应槽体1的运输滚筒2之间均设有溢流盒3，根据需要，也可以在一部分相邻运输滚筒之间设置溢流盒。一个整体的溢流盒3沿运输滚筒2的轴线展开设置，根据需要，也可以是由几个较小的溢流盒间隔的沿运输滚筒的轴线设置；溢流盒3的截面为“U”型，根据需要，溢流盒3的截面可以为其它形状，比如，矩形、梯形等等。本实用新型在反应槽体内的运输滚筒之间设置溢流盒，当槽体内药液液面到达一定高度时，药液就可流入溢流盒，并通过溢流盒下面的管路进入药液循环系统，从而加快反应槽内药液的更换速度，以便有效地减少反应槽内各区域药液浓度的差异性，从而使硅片表面处理更均勻。相比传统的溢流装置，新的溢流盒能在槽体内可以随意分散开，克服了不同区域药液浓度不一致的问题。以上接合较佳实施方式对本实用新型进行了具体描述，但是本技术领域内的技术人员可以对这些实施方式做出多种变更或变化，这些变更和变化应落入本实用新型保护的范围之内。
权利要求1.一种带有溢流盒的反应槽，包括反应槽体(1)，设于该反应槽体(1)内部上部的运输滚筒(2)，其特征在于，所述的相邻两运输滚筒(2)之间设有溢流盒(3)，而溢流盒的下面设有联通外部液体循环系统的管路(4)。
2.根据权利要求1所述的带有溢流盒的反应槽，其特征在于，所述溢流盒(3)沿所述运输滚筒(2)的轴线展开设置。
3.根据权利要求1所述的带有溢流盒的反应槽，其特征在于，所述溢流盒(3)的截面为 “U” 型。
专利摘要一种带有溢流盒的反应槽，包括反应槽体，设于该反应槽体内部上部的运输滚筒。所述的相邻两运输滚筒之间设有溢流盒，而溢流盒的下面设有联通外部液体循环系统的管路。本实用新型在反应槽体内的运输滚筒之间设置溢流盒，以便加快反应槽内的药液更换速度，而减少反应槽内各区域药液浓度的差异性，是的使硅片表面处理更均匀。相比传统的溢流装置，新的溢流盒能在槽体内随意分散开，克服了不同区域药液浓度不一致的问题。
文档编号H01L31/18GK202231047SQ201120319909
公开日2012年5月23日 申请日期2011年8月30日 优先权日2011年8月30日
发明者左国军 申请人:常州捷佳创精密机械有限公司