技术编号：6939802
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于以微电子技术为基础的硅基光电子，涉及硅发光器件。背景技术近些年来，在CMOS器件特征尺寸愈来愈趋于各种极限值的形势下，硅基光电子器件的研究与发展日益受到信息技术界的重视与关注。这不仅是由于近期光互连方面的迫切需要，而且还来自微电子光电子两大信息技术将来在硅基单片集成上全面相结合及一体化所提出的要求。目前与CMOS工艺兼容的硅基拉曼激光器[1]、高速光调制器[2]、微环光调制器[3]以及微环光双稳态[4]等先后的被研制成功促进了硅基光电子器件的研究...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。