技术编号：6940595
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及包括静电夹盘的处理系统，尤其涉及在等离子体处理系统。 背景技术在半导体制造领域中，半导体工艺件需要在半导体处理系统中经过一系列的工序 处理而形成预定的结构，例如等离子体刻蚀机台或等离子体化学气相沉积机台。为了满足 工艺要求，不仅需要对工序处理过程进行严格地控制，还会涉及到半导体工艺件的装载和 去夹持。半导体工艺件的装载和去夹持是半导体工艺件处理的关键步骤。图1示出了现有技术的等离子体刻蚀机台，其仅采用升举顶针从静电夹盘去夹持 工艺件。具体地，在等...
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