技术编号：6940852
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种硫化镉薄膜的沉积方法，特别是涉及一种多段式析出不同尺寸颗 粒的硫化镉薄膜的沉积方法。背景技术随着地球暖化的日益严重，绿色能源的开发逐渐受到重视。而太阳能的利用已经 达到产业应用的规模，其主要材料有硅和铜铟镓硒(copperindium gallium selenide，简 称CIGS)/铜铟镓硒硫两种，其中，第一代太阳能模块主要是利用单晶硅和多晶硅的技术， 其光电转换效率高且量产技术成熟，但因为材料成本高，使得后续的量产受到限制。因此， 以非...
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