技术编号：6943044
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及向紫外线固化型载带照射紫外线的紫外线照射装置，该紫外线固化型载带上贴附有晶片等板状物，并且其外周部安装于环状框架上。背景技术作为对半导体晶片、陶瓷板、玻璃板或树脂基板等板状物进行切削的加工装置，广 泛使用着具有切削刀片的被称为切削器的切削装置。例如在日本特开平11-74228号公报 中就公开了这种切削装置。用切削装置切削的板状物预先贴附于作为粘结带的切割带上，并通过切割带安装 于环状的框架上。切削刀片切入到切割带的厚度方向的中途，同时对板状物进行...
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