技术编号:6945428
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具有多层结构的基板处理装置,特别涉及一种使装置结构变得简 单,以提高设计自由度的同时减少构件的数量,从而提高生产效率的基板处理装置。背景技术通常,针对用于平面显示器(Flat panel display)、半导体晶片、IXD、光掩模玻璃 等的基板(Substrate)而言,在处理线上进行蚀刻、剥离、漂洗等过程的处理后进行清洗过程。这种处理线排成一列,并具有可通过基板输送装置依次移动基板的同时,对所述 基板进行处理的结构(为了便于说明,在本说明...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。