专利名称：基板处理装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种具有多层结构的基板处理装置，特别涉及一种使装置结构变得简 单，以提高设计自由度的同时减少构件的数量，从而提高生产效率的基板处理装置。
背景技术：
通常，针对用于平面显示器(Flat panel display)、半导体晶片、IXD、光掩模玻璃 等的基板(Substrate)而言，在处理线上进行蚀刻、剥离、漂洗等过程的处理后进行清洗过程。这种处理线排成一列，并具有可通过基板输送装置依次移动基板的同时，对所述 基板进行处理的结构(为了便于说明，在本说明书和权利要求书中将“排成一列”的基板处 理线或基板处理装置定义为“直列式”基板处理线或基板处理装置)。由于这种直列式基板 处理装置在净化室中所占空间较大，所以研发了一种具有多层结构的基板处理装置。针对所述具有多层结构的基板处理装置而言，本申请人申请的相关发明已获得专 利权，其分别为韩国专利第10-0500169号、韩国专利第10-0555619号。所述专利公报中公 开的技术中，基板处理装置和输送基板的输送装置分别布置在不同层上，所以不仅解决了 受空间限制的问题，而且还可以非常有效地处理基板。所述基板处理装置包括输送装置，其通过装载机(Loader)接收基板；升降装置， 其朝上下方向移送由输送装置输送的基板；以及多个基板处理装置，其设置在与输送装置 不同的层上。尤其是，上述基板处理装置中的输送装置具有一边向水平方向移动，一边向升降 装置传递基板的作用。为了稳定地输送基板，所述输送装置具有以移动方向为基准，通过多 个引导部件来引导输送装置的两侧并使其移动的结构。针对具有两侧结合在多个引导部件上而进行输送之结构的现有上述输送装置而 言，由于其结构复杂，在设置相邻的升降装置等周边部件时，设计上会受到一定限制，从而 会使构件数量增多，致使制作费用增加。并且，现有输送装置存在微粒(particle)会因具有复杂结构的多个引导部件而 增加的问题。
发明内容
本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种具有多层结构，不仅使结 构变得简单，以提高设计自由度，而且使构件数量减少，从而可以提高生产效率的基板处理
直ο并且，本发明还提供一种使移送结构变得简单，从而可以使微粒的产生达到最少 化的基板处理装置。为了实现上述目的，本发明提供一种基板处理装置，其包括框架；输送装置，其一 端连接于结合在所述框架上的移动装置上，另一端为自由端，从而从布置在外部的装载机接收基板并将其传送；第一升降装置，从所述输送装置接收所述基板，并朝升降方向传送所 述基板；第一移送装置，其设置在与所述输送装置不同的层上，并且从所述第一升降装置接 收所述基板后将其传送；基板处理单元，其从所述第一移送装置接收所述基板后对其进行 处理；第二移送装置，其接收在所述基板处理单元已完成处理的所述基板，并将其传送；以 及第二升降装置，对从所述第二移送装置接收的所述基板进行升降，并将其传递给所述输 送装置。优选地，所述移动装置是直线模块。优选地，所述移动装置设置有移动部件，所述输送装置包括连接部件，其与所述移 动部件相结合；以及多个臂，其与所述连接部件相结合，并用于搁置所述基板。优选地，所述连接部件上设置有平衡重，其位于所述多个臂的相反侧。优选地，所述多个臂上安装有挡块，其用于保持所述多个基板的安置状态。另一方面，本发明的基板处理装置包括框架；移动装置，设置在所述框架上；输 送装置，与所述移动装置相结合，通过设置在外部的装载机接收基板后将其传送；第一升降 装置，从所述输送装置接收所述基板，并朝升降方向传送所述基板；第一移送装置，设置在 与所述输送装置不同的层上，并且从所述第一升降装置接收所述基板后将其传送；基板处 理单元，从所述第一移送装置接收所述基板后对其进行处理；第二移送装置，从所述基板处 理单元接收已完成处理的基板，并将其传送；第二升降装置，升降从所述第二移送装置接收 的基板后，将其传递到所述输送装置。其中，所述输送装置包括支撑部件，与所述移动装置 相结合；旋转机构，与所述移动装置和所述支撑部件相结合；多个臂，通过所述旋转机构旋 转，用于置放基板。优选地，所述旋转机构由直线模块构成，所述直线模块包括设成一直线状的定子 和沿所述定子进行直线运动的移动部件。优选地，所述基板处理装置具有臂结合部件，所述臂结合部件与所述旋转机构相 结合，用于将每个臂连接在一起。优选地，所述旋转机构包括马达和齿轮组件，所述齿轮组件设置在所述支撑部件 上，并藉由所述马达来旋转所述多个臂，包括蜗杆齿轮，结合在所述马达的转轴上；蜗轮， 与所述蜗杆齿轮相啮合旋转，并结合到所述臂结合部件。优选地，所述多个臂上设置有多个支撑销，其用于支撑所述基板并使其保持在一
定尚度上。如上所述的本发明中，输送装置用于输送从设置在外部的装载机接收的基板。而 以移动方向为基准时，只有输送装置的一侧上结合有移动装置，所以在布置周边的装置时， 减少了干扰，从而可以提高设计自由度。与此同时，还可以减少构件的数量，从而具有提高 生产效率的效果。并且，本发明不同于现有技术，移动装置只设置在一侧，因此结构简单，可降低微 粒的产生。
图1是用于说明本发明第1实施例的整体结构图。图2是图1中主要部分的详细图。
图3是图2中III-III线的截面图。图4是图2中IV-IV线的截面图。图5是用于说明本发明的第2实施例的附图。图6是图5的侧视图。
具体实施例方式以下将参照附图详细说明本发明的优选实施例。图1是为了说明本发明的第1实施例的结构图，显示具有多层结构的基板处理装 置。本实施例的基板处理装置包括构成本发明外形的框架1、输送装置3、第一升降装置5、 第一移送装置7、基板处理单元9、第二移送装置11以及第二升降装置13。框架1形成一空间，其内部可用来设置上述多个构件。尤其是，所述框架1构成一 连接结构，用于将输送装置3和基板处理装置9分别布置在不同层上。输送装置3设置在框架3上，并且可以朝水平方向移动。输送装置3可以通过设 置在外部的装载机(省略图示)接收基板G，而且可以向第一升降装置5输送基板G。输送 装置3具有从第二升降装置13接收已完成处理的基板G，并将此传递到框架1外侧的卸载 机(省略图示)，从而使卸载机回收基板G。第一升降装置5接收由输送装置3传递的基板G之后下降，并可将此基板G传递 给第一移送装置7。另外，第一移送装置7可以将从第一升降装置5接收的基板G传递给基 板处理单元9。第一移送装置7具有可以朝水平方向输送基板G的结构。优选地，第一移送装置7 和基板处理单元9设置在与输送装置3不同的层上。也就是说，如果输送装置3设置在上 层A，则第一移送装置7和基板处理单元9最好设置在下层B。基板处理单元9上可以设置用于清洗基板G等的常规处理装置。第二移送装置11可以朝水平方向移送从基板处理单元9输出且已完成处理的基 板G，并可以设置在基板处理单元9的出口侧。当然，所述第二移送装置11也可以连续地设 置在与上述基板处理单元9相同的下层B上。第二升降装置13向上抬起从第二移送装置11接收的基板G，并将所述基板G传递 给输送装置3。本实施例中所描述的第一升降装置5、第一移送装置7、基板处理单元9、第二移送 装置11以及第二升降装置13可以使用本申请人已经授权的韩国专利第10-0500169号和 韩国专利第10-0555619号中公开的结构。在这里用所述专利公报中公开的内容来代替对 这些装置的详细说明。当然，所述第一升降装置5、第一移送装置7、基板处理单元9、第二移送装置11以 及第二升降装置13并不局限于所述专利公报中公开的内容，根据不同设计可以多种方式 实施。另外，针对本实施例的上述输送装置3而言，其一侧由移动装置15支撑，并可向第 一升降装置5和第二升降装置13移动。换句话说，所述专利公报中公开的实施例涉及的输 送装置3，以移动方向为基准的两侧均设置有引导部件，但如图1、图2及图4中所示，本实 施例中的输送装置3，以移动方向为基准时，仅在其一侧上设置有移动装置15。
所述移动装置15可以使用直线模块(linear module)。当然，本实施例中的移 动装置15并不局限于直线模块，还可以是导引机构沿基板的移动方向结合，而且移动部件 (mover)随导引机构而移动的结构。作为本实施例中移动装置来使用的直线模块可以由定子17、随定子17进行移动 的移动部件19组成。定子17结合在框架1上，从而使输送装置3沿定子17的长度方向移动。并且，移 动部件19设置成可以沿所述定子17移动的结构。移动部件19上固定有连接部件21，其通过螺栓等结合部件来固定。并且，所述连 接部件21上结合有具有一定长度的多个臂23、25、27 (Arm,如图1至图4中所示)，这些多 个臂通过其它螺栓等多个结合部件结合在所述连接部件21上。S卩，多个臂23、25、27的一 侧结合在连接部件21上，另一侧为没有固定在任何位置上的自由端。多个臂23、25、27上 结合有多个支撑销29。支撑销29朝上方突出设置，并且其上面可以搁置基板G。另外，本实施例中为了方便起见，将多个臂的数量设定为3个并以此来进行了描 述，但本发明并不局限于此，根据不同情况可以用多种尺寸和不同数量来设计。并且，如图2、图3所示，本发明实施例涉及的多个臂23、25、27中，布置在侧面上的 两个臂23、27上分别安装有多个挡块23a、27a。优选地，所述多个挡块23a、27a的一部分突 出设置。并且，所述多个挡块23a、27a的高度最好比所述支撑销29高。如上所述，把多个挡块23a、27a设置成比支撑销29更高(即，设置为更大)，这是 为了防止当以基板G被放在支撑销29上的状态下移动后停止时，基板G因惯性而脱离输送 装置3。所述多个挡块23a、27a上可以结合额外的部件。另外，优选地，所述连接部件21上设置有多个臂23、25、27的一侧的相反侧上固定 有平衡重31，其通过其它螺栓等结合部件固定在所述连接部件21上。所述平衡重31的作 用是，当基板G在搁置在多个臂23、25、27上的状态下移动时，使重量不偏重而可以保持平本实施例以连接部件21结合在移动部件19上，并且连接部件21上结合有多个 臂23、25、27的例子进行了说明，但根据不同情况，还可以省略连接部件21，此时多个臂23、 25,27可直接结合到移动部件19上。当然，平衡重31也可以直接结合到移动部件19上。下面，详细说明基板在本发明的上述基板处理装置中移动的过程。通过装载机(省略图示)将基板G放到输送装置3的支撑销29上。然后，输送装 置3以水平方向移动，并将基板G传递给第一升降装置5。此时，用于移送输送装置3的移 动装置15仅布置在输送装置3的一侧。因此，本发明可以提高对输送装置3的设计自由度， 并且与输送装置3的两侧上设置有移动装置的结构相比，本发明可以大幅减少构件数量， 并可以提高生产效率。当输送装置3移动时，在平衡重31的作用下保持平衡状态，从而能够稳定地移动。 并且，针对多个臂23、27上分别安装的挡块23a、27a而言，即使在输送装置3移动之后急速 停止的情况下，仍然可以防止基板G脱离输送装置3。第一升降装置5可以一边插入基板G 和多个臂23、25、27之间，一边接收基板G。当然，传递基板G的方法并不局限于本发明的实 施例，根据不同的设计可以采用多种结构，所以传递基板G的方法也会有多种形式。
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接着，传递到第一升降装置5上的基板G被输送到第一移送装置7上，然后供给到 基板处理单元9上。供给到基板处理单元9上的基板在基板处理单元9内进行预定处理之 后，向第二移送装置11侧输出。并且，输送到第二移送装置11上的基板传递到第二升降装 置13之后，藉由第二升降装置13向上抬起，并传递到输送装置3。接着，布置在框架1外侧的卸载机(省略图示，根据具体情况，装载机可以兼做卸 载机)从输送装置3取出基板G，然后进行后续工序。图5、图6是用于说明本发明第2实施例涉及的基板处理装置主要部分的附图。在此，仅对本发明的第2实施例与第1实施例的不同部分进行说明，至于相同部分 用第1实施例的说明代替。在上述第1实施例中用多个臂23、25、27的一端分别结合在移动装置15上的结构 来进行了说明，而本发明的第2实施例中移动装置15上结合有支撑部件33，在所述支撑部 件33及移动装置15上配置有旋转机构，旋转机构用来旋转多个臂23、25、27。所述旋转机 构包括马达M和齿轮组件35。尤其是，本发明第2实施例中输送装置3的多个臂23、25、27与旋转机构隔开一定 距离，从而保障所述多个臂23、25、27在旋转机构的作用下进行旋转时能够不与旋转机构 产生干扰并保持水平的状态下顺利旋转。和第1实施例同样地，本发明第2实施例中的移动装置可由直线模块构成，所述直 线模块包括设成一条直线状的定子17和沿所述定子17进行直线运动的移动部件19。在本发明的第2实施例中，连接部件21上结合有支撑部件33，其通过其它螺栓等 的结合部件结合在连接部件21。并且，支撑部件33的上面布置有齿轮组件35。齿轮组件 35由蜗杆齿轮37和蜗轮39组成，其中蜗杆齿轮37藉由马达M等驱动源旋转，而蜗轮39藉 由蜗杆齿轮37旋转。蜗轮39上可以结合有输送装置3。因此，输送装置3为可在水平状态下进行旋转 的结构。当然，输送装置3的上侧布置有多个臂23、25、27，并且这些多个臂23、25、27上可 以设置有支撑销29。换句话说，多个臂23、25、27的底面可通过结合部件(省略图示)结合有臂结合部 件24 (参见图5)。臂结合部件24用于把所述多个臂23、25、27连接到一起。此外，所述臂 结合部件24结合在蜗轮39上，并随着蜗轮39的旋转而旋转。因此当臂结合部件24旋转 时，所述多个臂23、25、27也随之旋转。本发明的实施例中例举说明了齿轮组件35由蜗杆齿轮37和蜗轮39组成的例子。 但本发明并不局限于此，只要是能够使输送装置3旋转的结构均可以使用。本发明的上述第2实施例可适用在需要旋转基板G的场合，其中所述基板G以水 平状态搁置在输送装置3上。
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权利要求
一种基板处理装置，其特征在于，包括框架；输送装置，其一端连接于和所述框架相结合的移动装置上，另一端为自由端，从而从布置在外部的装载机接收基板后将其传送；第一升降装置，从所述输送装置接收所述基板，并朝升降方向移送所述基板；第一移送装置，其设置在与所述输送装置不同的层上，并且从所述第一升降装置接收所述基板后将其传送；基板处理单元，其从所述第一移送装置接收所述基板并对其进行处理；第二移送装置，接收在所述基板处理单元已完成处理的基板，并将其传送；以及第二升降装置，升降从所述第二移送装置接收的所述基板，并传递给所述输送装置。
2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于 所述移动装置为直线模块。
3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，所述移动装置设置有移动部件， 所述输送装置包括连接部件，其与所述移动部件相结合；以及多个臂，其结合在所述连接部件上，用于搁置所述基板。
4.根据权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于所述连接部件上设置有平衡重，所述平衡重位于所述多个臂的相反侧。
5.根据权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于 所述多个臂上安装有挡块，其用于保持基板的安置状态。
6.一种基板处理装置，其特征在于，包括 框架；移动装置，设置在所述框架上；输送装置，与所述移动装置相结合，通过设置在外部的装载机接收基板并将其传送； 第一升降装置，从所述输送装置接收所述基板，并朝升降方向传送所述基板； 第一移送装置，设置在与所述输送装置不同的层上，并且从所述第一升降装置接收所 述基板后传送；基板处理单元，从所述第一移送装置接收所述基板后对其进行处理；第二移送装置，接收在所述基板处理单元已完成处理的基板后将其传送；第二升降装置，升降从所述第二移送装置接收的基板后，将其传递给所述输送装置，其中所述输送装置包括支撑部件，与所述移动装置相结合；旋转机构，与所述移动装置和所述支撑部件相结合；多个臂，通过所述旋转机构旋转，用于置放基板。
7.根据权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于，所述旋转机构由直线模块构成， 所述直线模块包括设成一直线状的定子和沿所述定子进行直线运动的移动部件。
8.根据权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于具有臂结合部件，所述臂结合部 件与所述旋转机构相结合，用于将每个臂连接在一起。
9.根据权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于，所述旋转机构包括马达和齿轮 组件，所述齿轮组件设置在所述支撑部件上，并藉由所述马达来旋转所述多个臂，包括蜗杆齿轮，结合在所述马达的转轴上；蜗轮，与所述蜗杆齿轮相啮合旋转，并结合到所述臂结合部件。
10.根据权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于所述多个臂上设置有多个支撑销，其用于支撑所述基板并使其保持在一定高度上。
全文摘要
本发明涉及一种具有多层结构的基板处理装置，所述装置不仅使结构变得简单，以提高设计自由度，而且使构件数量减少，从而可以提高生产效率。本发明的基板处理装置包括框架；输送装置，其从布置在外部的装载机接收基板并将其传送；第一升降装置，从输送装置接收基板，并朝升降方向传送基板；第一移送装置，其设置在与输送装置不同的层上，并且从第一升降装置接收基板并将其传送；基板处理单元，其从第一移送装置接收基板并对其进行处理；第二移送装置，其接收在基板处理单元已完成处理的基板后将其传送；以及第二升降装置，升降从第二移送装置接收的基板，并将其传递给输送装置。
文档编号H01L21/677GK101964318SQ20101018059
公开日2011年2月2日 申请日期2010年5月14日 优先权日2009年7月23日
发明者李升垣 申请人:显示器生产服务株式会社