技术编号:6946113
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于半导体专用设备的晶片吸附翻转装置。 背景技术在现代化半导体专用设备制造过程中广泛使用的晶片的自动取、放和自动传输中 常见的对晶片抓取装置有夹持式、电磁吸附式、真空吸盘吸附式等,其中夹持式晶片抓取 装置容易造成晶片损坏,电磁吸附式晶片抓取装置和真空吸盘吸附式晶片抓取装置结构较 为复杂,零件加工难度大,还存在难于控制的问题。发明内容本发明所要解决的技术问题是提供一种结构简单、制作成本低、操作简易且抓取 晶片稳定性高的用于半导体专用设备的晶片吸...
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