技术编号:6946116
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种旋转接头,特别是一种应用于半导体设备制造领域的旋转接头。 背景技术在半导体设备制造行业,存在晶片加工的多个工艺流程,在这些工艺流程中很多都需要在工作台旋转的过程中,允许有水、真空、气的通过,不过现有的旋转接头大多只允许水、真空、气一种介质通过,而且大多只有一个通道,因此只能加工一种规格的晶片,要实现多通道水、真空、气的通过,就需要采用更多的旋转接头,从而产生设备体积的增大,成本的增加,以及设备的运行不稳定等等。发明内容本发明要解决的技术问题是...
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