专利名称：旋转接头的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种旋转接头，特别是一种应用于半导体设备制造领域的旋转接头。
背景技术：
在半导体设备制造行业，存在晶片加工的多个工艺流程，在这些工艺流程中很多都需要在工作台旋转的过程中，允许有水、真空、气的通过，不过现有的旋转接头大多只允许水、真空、气一种介质通过，而且大多只有一个通道，因此只能加工一种规格的晶片，要实现多通道水、真空、气的通过，就需要采用更多的旋转接头，从而产生设备体积的增大，成本的增加，以及设备的运行不稳定等等。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种不更换卡具就可以加工不同规格晶片的旋转接头，且其能同时实现水、真空、气的通过。为了解决上述技术问题，本发明采取的技术方案是旋转接头包括接头座、设置在接头座上的定子、设置在接头座上的转接头、和定子套装连接的转子、和转子套装连接的密封圈、和转子固定连接的陶瓷基盘以及陶瓷吸盘，在所述转子的中心设置有4寸通道，在4 寸通道的四周设置有通道，通道由5寸、6寸和8寸通道组成，5寸、6寸和8寸通道成120度角围绕所述4寸通道设置，所述4寸通道和通道分别与陶瓷吸盘内的管道相连通。本发明的有益效果是本发明的转子和陶瓷基盘固定在一起，二者在驱动装置的驱动下，一起旋转，定子与转子之间安装有轴承，两者之间可以实现相对运动，保证了旋转过程中水、真空、气的输送。密封圈具有优良的密封性能，可以保证在机构旋转过程中，真空、水、气体几种介质不发生泄漏。本发明采用4路通道，每一路均可以通过水、真空或气体。通过对通道的关闭控制，可以分别实现对4、5、6或8寸晶片的真空吸附、吹气浮起、水冲洗等操作。说明如下关闭5、6、8寸通道，只开通4寸通道，该转接头就可以实现对4寸晶片的真空吸附、吹气浮起、水冲洗等操作。关闭6、8寸通道，只开通4、5寸通道，该转接头就可以实现对5寸晶片的真空吸附、吹气浮起、水冲洗等操作。关闭8寸通道，开通4、5、6寸通道，该转接头就可以实现对6寸晶片的真空吸附、 吹气浮起、水冲洗等操作。开通所有通道，该转接头就可以实现对8寸晶片的真空吸附、吹气浮起、水冲洗等操作。
图1为本发明的结构示意图2为图1的局部放大图；图3为本发明的陶瓷吸盘结构示意图。在图中1陶瓷吸盘、2陶瓷基盘、3堵头1、4转子、5堵头11、6定子、7轴承、8挡圈、9接头座、10转接头、11锁母、12密封圈、1；34寸通道、14通道、15连接通道、164寸片区、 175寸片区、186寸片区、198寸片区。
具体实施例方式如图1和图2所示，旋转接头包括接头座9、设置在接头座9上的定子6、和定子6 套装连接的转子4、和转子4套装连接的密封圈12、和转子4固定连接的陶瓷基盘2以及陶瓷吸盘1，转子4和定子6之间设置有用以使转子4平稳运行的轴承7，用锁母11固定从而保证两者之间的相对运动和在旋转过程中水、真空、气的输送，接头座9上设置有转接头 10，上面装上快换接头，它是通道的入口，密封圈12具有优良的密封性能，可以保证在机构旋转过程中，真空、水、气体几种介质不发生泄漏。在转子4的中心设置有四寸通道13，在四寸通道13的四周设置有通道14，通道由5寸、6寸和8寸通道组成，5寸、6寸和8寸通道成120度角围绕四寸通道13设置，4寸通道13与陶瓷吸盘1内的管道相连通，5寸、6寸和 8寸通道分别通过连接通道15与陶瓷吸盘1内的管道相连通。如图3所示，设置在转子4内的4寸通道13和5寸、6寸、8寸通道分别对应于陶瓷吸盘1内的4寸片区16、5寸片区17、6寸片区18、8寸片区19，每一路均可以通过水、真空或气体。通过对通道的关闭控制，可以分别实现对4、5、6或8寸晶片的真空吸附、吹气浮起、水冲洗等操作。说明如下关闭5、6、8寸通道，只开通4寸通道，该转接头10就可以实现对4寸晶片的真空吸附、吹气浮起、水冲洗等操作。关闭6、8寸通道，只开通4、5寸通道，该转接头10就可以实现对5寸晶片的真空吸附、吹气浮起、水冲洗等操作。关闭8寸通道，开通4、5、6寸通道，该转接头10就可以实现对6寸晶片的真空吸附、吹气浮起、水冲洗等操作。开通所有通道，该转接头10就可以实现对8寸晶片的真空吸附、吹气浮起、水冲洗等操作。
权利要求
1.旋转接头，其特征是其包括接头座(9)、设置在接头座(9)上的定子(6)、设置在接头座(9)上的转接头(10)、和定子(6)套装连接的转子G)、和转子(4)套装连接的密封圈(12)、和转子(4)固定连接的陶瓷基盘O)以及陶瓷吸盘(1)，在所述转子(4)的中心设置有4寸通道(13)，在4寸通道(13)的四周设置有通道(14)，通道(14)由5寸、6寸和8 寸通道组成，5寸、6寸和8寸通道成120度角围绕所述4寸通道(13)设置，所述4寸通道 (13)和通道(14)分别与陶瓷吸盘(1)内的管道相连通。
全文摘要
本发明涉及一种旋转接头，特别是一种应用于半导体设备制造领域的旋转接头；其包括接头座、定子、转子、密封圈、陶瓷基盘以及陶瓷吸盘，在所述转子的中心设置有4寸通道，在4寸通道的四周设置有通道，通道由5寸、6寸和8寸通道组成，5寸、6寸和8寸通道成120度角围绕四寸通道设置，四寸通道和通道分别与陶瓷吸盘内的管道相连通；可以在不更换卡具的情况下加工不同规格的晶片，且其能同时实现水、真空、气的通过。
文档编号H01L21/00GK102269310SQ20101019084
公开日2011年12月7日 申请日期2010年6月3日 优先权日2010年6月3日
发明者张文斌, 王仲康, 衣忠波 申请人:北京中电科电子装备有限公司