技术编号:6948502
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。示例实施例涉及晶体管、制造晶体管的方法和包括晶体管的电子装置。 背景技术晶体管在电子装置中被广泛地用作开关装置或驱动装置。具体地,因为薄膜晶体 管可形成在玻璃基底或塑料基底上,所以它们通常用在诸如液晶显示(LCD)装置和有机发 光显示(OLED)装置的平板显示装置领域。已试图使用将具有较高的载流子迁移率的氧化物层用作沟道层的方法来提高晶 体管的操作特性。所述方法主要应用在用于平板显示装置的薄膜晶体管。然而,由于氧化 物层对光敏感,因此具有作为沟道层的氧化物...
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