技术编号：69493
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种光学基板清洗后的表面检测方法，特别涉及一种激光薄膜用光学基板清洗后表面检测方法。背景技术激光薄膜是高功率激光系统中的关键元件，是实现系统的光学性能的关键因素之一。薄膜又是激光系统中最易损伤的薄弱环节，薄膜损伤不仅降低激光的输出质量，而且容易导致系统中其它光学元件的损伤，从而给整个光学系统带来灾难性的破坏。影响薄膜损伤阈值的因素众多，从基板的加工和清洗，到膜系的设计和制备以及后续的激光预处理等。而基板清洗作为高功率激光薄膜制备的首要工序将直接决定元件的最终抗激光损伤能力。一般抛光后的基板表面污染...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。