技术编号:6949458
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种半导体制造的装置,具体是一种时空耦合动态特性 分析系统。背景技术由于半导体制造系统属于多工段和多加工区间的加工模式,其加工工艺流程复 杂,在制品品种多、数量大,生产过程存在各种离散、动态、不确定性事件,工件的各工段在 时间和空间位置上相互耦合和相互影响,导致半导体制造系统的生产优化控制困难。而通 过在半导体制造系统的控制系统中对加入半导体制造系统的时空耦合动态特性分析手段 来辅助以上问题的解决,可以有效提高半导体制造系统的控制方法的可行性...
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