技术编号：6950613
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明有关太阳能电池晶圆的盒输送装置及利用盒输送装置的太阳能电池的晶 圆纹理装置，特别是关于可自动地插入或收回已接收晶圆的盒至晶圆纹理装置，以及可自 晶圆纹理装置自动地插入或收回已接收晶圆的盒的此盒输送装置的太阳能电池的晶圆纹 理装置，以及太阳能电池晶圆的盒输送装置。背景技术太阳能电池一般利用可将太阳能转换为电能的半导体装置制造。这类半导体装置 整个做成一个晶圆，其接着被分割为许多微小片，且每一半导体装置设置于每一太阳能电 池内。晶圆主要由硅所制成，且取决...
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