专利名称：太阳能电池晶圆盒输送装置及其太阳能电池晶圆纹理装置的制作方法
技术领域：
本发明有关太阳能电池晶圆的盒输送装置及利用盒输送装置的太阳能电池的晶 圆纹理装置，特别是关于可自动地插入或收回已接收晶圆的盒至晶圆纹理装置，以及可自 晶圆纹理装置自动地插入或收回已接收晶圆的盒的此盒输送装置的太阳能电池的晶圆纹 理装置，以及太阳能电池晶圆的盒输送装置。
背景技术：
太阳能电池一般利用可将太阳能转换为电能的半导体装置制造。这类半导体装置 整个做成一个晶圆，其接着被分割为许多微小片，且每一半导体装置设置于每一太阳能电 池内。晶圆主要由硅所制成，且取决于硅的结晶结构而可区分为单晶、多晶及非晶。为了 减少太阳光线的反射比(reflectance)以增加能量转换速率，一种表面处理制程应用于晶 圆。在这类表面处理装置的一个例子中，能蚀刻晶圆表面以形成纹理(texture)结构的一 种晶圆纹理装置已被发展和使用。过去用于太阳能电池晶圆的晶圆纹理装置利用批次浸洗方法(batch-dip method)，将一个单晶晶圆浸洗(dipping)于一个贮存有纹理溶液的处理槽内，以形成一个
纹理结构。为进行此程序，一旦晶圆已在其他前程序被处理，则将晶圆收集及接收于盒中，太 阳能电池晶圆的晶圆纹理装置装载及运送在处理机中的该盒。这程序由去除晶圆表面污 染物的前处理程序、将晶圆浸洗于处理槽中的纹理程序、以及去除晶圆上纹理溶液的后处 理程序所构成。通过这些程序，已完全纹理的晶元系自已卸载的盒分离且送到下一个程序。同时，在纹理程序中用于接收晶圆的盒再度被操作员运送至纹理装置的入口及重 复使用。在过去用于太阳能电池晶圆的纹理装置中，将(已接收晶圆)的盒装载于处理机 中的程序、自处理机中卸载此盒以及运送此盒系皆由操作员执行。因为装载/卸载及送回 此盒的程序过去皆需手工地来完成，因此，作业并不容易且需要大量的人力。再者，在运送 盒的过去程序中，有可能会损坏晶圆或盒。当盒损坏，晶圆则无法正常地接收或运送。因此， 晶圆在运送过程中则可能掉落或损坏，且晶圆在制造过程中有可能有瑕疵。此外，当以手工 执行盒的装载/卸载时，纹理装置的尺寸系无法制做的太大，且当作业未连续执行时，会拉 长制程时间。
发明内容
本发明提供太阳能电池晶圆的盒输送装置，以及利用盒输送装置的太阳能电池的 晶圆纹理装置，由装载已接收晶圆的该盒至该纹理装置、当纹理完成时卸载该盒以分离晶 圆、以及接着再次传送该盒至一装载位置的一连续的自动化程序。该盒输送装置可减少作 业的劳累、改善工作情况，以及可预防在盒运送期间发生晶圆及盒的损害。
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本发明提出的一种输送装置，用以供应及收回已接收一太阳能电池晶圆的一盒至 一纹理装置以及自纹理装置供应及收回此盒。此太阳能电池晶圆的盒输送装置包含一装 填机，用以移动该盒至一晶圆接收位置，以及移动及供应该盒至该纹理装置；一卸载机，当 晶圆在纹理装置纹理完成后，移动该盒至一晶圆分离位置，且将晶圆分离的该盒移动至一 盒送回位置；以及一送回机，用以将该卸载机供应的盒送回至装填机。该送回机可安装于该盒的移动线的上部。该送回机可包含一输送带。该送回机可包含一直线模组，用以在该装填机及该卸载机间往复运动，以及一装 载板，安装于该直线模组，该盒安装于该装载板上。该装填机及该卸载机包含一框架；一输送机械臂包含一三轴输送单元及一二轴 旋转单元，该三轴输送单元安装于该框架内，用以在三轴方向移动该盒，该二轴旋转单元安 装于该三轴输送单元内，用以在二轴方向旋转该盒；以及一支架，安装于该二轴旋转单元， 用以夹持该盒。本发明还提出一种用于一太阳能电池的晶圆纹理装置。根据本发明的一实施例的 该用于一太阳能电池的晶圆纹理装置可包含一装填机，用以移动一盒至一晶圆接收位置 且装载该盒，一晶圆已接收于该盒内；一前处理单元，安装于该装填机的后面，用以前处理 接收在该盒内的该晶圆；一纹理单元，利用一纹理溶液将该前处理单元内前处理的晶圆的 一表面上形成纹理；一后处理单元，用以移除在该纹理单元中附着在该晶圆上的该纹理溶 液；多个输送部，依序安装在该前处理单元、该纹理单元以及该后处理单元，用以输送该装 填机所装载的该盒；一卸载机，用以移动在该后处理单元中后处理的该盒至一晶圆分离位 置，以及当晶圆完成分离时，移动该盒至一盒送回位置；以及一送回机，用以将该卸载机供 应至一送回位置的盒送回至该装填机。此晶圆纹理装置也可包含一贮存单元在该前处理单元或该后处理单元的一下末 端，该贮存单元用以贮存该盒。此盒可包含一对侧板互相面对设置，一挂钩槽形成于每一侧板的一上末端，用以 与该输送部的一处理机悬挂；多个下支撑件，以连接该侧板的二下部而安装，用以支撑该晶 圆的二下角；以及一上支撑件，以连接该侧板的一上部而安装，用以支撑该晶圆的一上角。该送回机可依序地安装于该前处理单元、该纹理单元以及该后处理单元内。该送回机可安装于该输送部的上部。该送回机可包含一输送带。该送回机可包含一直线模组，用以在该装填机及该卸载机间往复运动；以及安 装于该直线模组的一装载板，该盒安装于该装载板上。该装填机及该卸载机可包含一框 架；一输送机械臂，包含一 3轴输送单元及一 2轴旋转单元，该3轴输送单元安装于该框架 内，用以在3轴方向移动该盒，该2轴旋转单元安装于该3轴输送单元内，用以在2轴方向 旋转该盒；以及一支架，安装于该2轴旋转单元，用以夹持该盒。本发明具以下有益效果由于已接收晶圆的盒可自动地装载及卸载，作业变的更简单且所需人力更少，且 在晶圆输送期间会发生的任何对晶圆的损坏及制造的瑕疵将可避免。再者，由于所使用的 盒自动地输送及收回，可避免盒的任何损坏或遗失。由于盒的装载及卸载相继地且连续地 执行，作业速度及产率可增加。通过盒的输送制程的自动化技术，纹理制程可更简单操作及控制，且因此劳工成本及生产成本可降低且可改善生产良率及产品可靠度。此外，由于所接 收的晶圆在倾斜位置，当晶圆自处理槽移开时，纹理溶液可更容易的掉落，因此减少了残留 在晶圆上的纹理溶液。
图1为根据本发明一实施例显示太阳能电池晶圆的盒输送装置的装填机的透视 图。图2为根据本发明一实施例的太阳能电池晶圆的盒输送装置的侧视图。图3为根据本发明一实施例的太阳能电池晶圆的盒输送装置的主要部分的放大 透视图。图4为根据本发明一实施例的太阳能电池晶圆的盒输送装置的送回机的透视图。图5为根据本发明一实施例的太阳能电池的晶圆盒输送装置的整体侧视图。图6为根据本发明一实施例的太阳能电池的晶圆纹理装置的侧视图。图7为根据本发明一实施例说明太阳能电池的晶圆纹理装置的一输送部的透视 图。图8为根据本发明的一实施例说明太阳能电池的晶圆纹理装置的已接收在盒内的晶圆的侧视图。图中50 盒52、54 侧板56a、56b 下支撑件56c上支撑件58挂钩槽60 晶圆100装填机120 框架130输送机械臂132 第一导件133 第一平板134 第二导件135 第二平板136第三导件136a 马达137第三平板138第一旋转块139输送臂140第二旋转块141 支架200卸载机
300送回机
310直线模组
312直条块
314直线导件
320载板
400纹理装置
410前处理单元
420纹理单元
422处理槽
424清洗单元
430后处理单元
432洗涤单元
436烘干单元
438空气室
450输送部
452轨道
454输送单元
456处理器
458环
具体实施例方式由于本发明可有各种置换及实施例，特定实施例将可参照所附的图式而说明及描 述。然而，这并非用以限制本发明于这类实施例中，且应解释为包含本发明的构想及范围所 含的所有置换、均等及替换。当所描述的特定技术决定去回避本发明的点，相关的细节描述 在本发明的所有描述中将会被省略。下面，本发明的太阳能电池晶圆的盒输送装置及利用此盒输送装置的太阳能电池 的晶圆纹理装置将参考附随的图式而描述。在参考附随的图式描述时，不论何图式，任何相 同的或相对应的元件将给予相同的元件符号，且相关的描述将不多余地重复。图1为根据本发明一实施例，显示太阳能电池晶圆的盒输送装置的装填机的透视 图，以及图2为根据本发明一实施例的太阳能电池晶圆的盒输送装置的侧视图。图3为根 据本发明一实施例的太阳能电池晶圆的盒输送装置的主要部分的放大透视图。图4为根据 本发明一实施例的太阳能电池晶圆的盒输送装置的送回机的透视图，以及图5为根据本发 明一实施例的太阳能电池的晶圆盒输送装置的整体侧视图。如图1至图5所绘示，根据此实施例的太阳能电池晶圆的盒输送装置提供一个 (已接收太阳能电池晶圆)的盒50至一个纹理装置，且自纹理装置收回(retrieve)及送回 纹理完成的此盒50。盒输送装置包含一个装填机100及一个卸载机200，此二者分别安装于纹理装置 的一前部及一后部，且用以送回此盒50的送回机300设于装填机100及卸载机200之间且 连接装填机100及卸载机200。
此处，装填机100将贮存在盒贮存位置的盒50移动到晶圆接收位置，且当晶圆完 全接收于盒50内时，提供此盒50至纹理装置。此晶圆可透过利用吸臂的供应装置而自动 地被接收，且晶圆可在当盒50旋转为垂直状态时被接收，因此可更容易地接收晶圆。卸载机200与装填机100实质地相同，且与装填机100操作顺序相反。装填机100具有框架120，其与纹理装置的框架相连接。一个输送机械臂130安装 于这些框架120上，用以输送此盒50。这输送机械臂130可在三个轴移动及在二个轴旋转，且包含一个三轴输送单元及 一个二轴旋转单元。这三轴输送单元安装于框架120上，且在三轴方向上移动此盒50。更特别地，此三 轴输送单元可在彼此互相垂直的X轴、y轴以及Z轴移动。对此，可对于每一轴提供一个驱 动器。χ轴驱动器包含第一导件132固定于框架120的下部，以及第一平板133可移动地 安装于第一导件132上。一个马达可安装于第一导件132内，且第一平板133可透过马达 操作而在宽度方向(意即χ轴方向)上移动。y轴驱动器，安装于第一平板133的上部，可在y轴方向移动。此y轴驱动器包含第二导件134安装于第一平板133的上部。第二导件134为垂 直延伸，且第二平板135 (其在垂直方向上移动)可安装于第二导件134的一端。一个马达 可安装于第二导件134内，且第二平板135可透过马达操作而在垂直方向(意即y轴方向) 上移动。ζ轴驱动器，安装于第二平板135的上，可在长度方向(意即ζ轴方向)上移动。ζ轴驱动器安装于第二平板135的侧面且包含一个第三导件136延伸于框架120 的长度方向。一个马达可安装于第三导件136内，且第三平板137可透过马达操作而在框 架120的长度方向(意即ζ轴方向)上移动。此二轴旋转单元，其在互相垂直的垂直与水平方向的二轴上旋转盒50，可安装于 第三平板137上。此二轴旋转单元包含安装于第三平板137上的第一旋转块138，以及在第一旋转 块138上方于水平面上旋转的一个输送臂139。一第二旋转块140安装于输送臂139末端部，可在垂直面上旋转。一个支架141， 安装于第二旋转块140上，用以夹持及放开此盒50。支架141可以弹性体的方式在盒50的宽度方向上安装。随着支架141的膨胀或 收缩，支架可夹持或放开盒50的二末端。在此实施例中，用于旋转这些平板133、135、137的马达可分别安装于导件132、 134,136内。如图三所示，驱动马力亦可以由安装于第三导件136外部的马达136a传送。上文所述的装填机100利用此输送机械臂130将已接收晶圆的盒50供应至纹理 装置400，且当纹理完成时，自卸载机200移动盒50至晶圆分离位置。一旦晶圆自卸载机200分离，卸载机200的输送机械臂130会再次移动此盒50至 送回机300，其接着送回此盒50到装填机100以重新使用。此处，送回机300用以送回此盒50，且可安装于纹理装置400内部或外部，只要送 回机300可连续地使此盒50循环。举例来说，在此实施例中，送回机300可安装于纹理装置400内部，且可随着(已接收晶圆的)盒50的移动线以多层的方式安装。在此实施例中，送回机300可安装于盒50的移动线之上。参阅图4，送回机300可包含一个直线模组310以及安装于直线模组310上的一个 载板320，其为送回机300所提供的盒50所放置。此载板320依据直线模组310的操作在装填机100及卸载机200之间来回地输送 此盒50。此直线模组310具有一直条块312与载板320耦合。此直条块312可由安装于装 填机100及卸载机200间的一个直线导件314而来回运动。一个马达可安装于直线导件 314内以使直条块312移动。在本发明中尽管送回机300利用直线模组310移动此盒50，但本发明并不限制于 此实施例，直线模组310也可以以输送带取代，且盒50可被输送带连续地输送。针对此，送回机300可包含输送带以及驱动输送带的马达。送回机300可连续地 移动盒50，因此输送带所供应的盒50可移动至装填机100的盒供应位置。上述的太阳能电池晶圆的盒输送装置可与纹理装置400连接，以移动已接收晶圆 的盒50，且其也可以与利用盒50的其他装置连接。参阅图5，安装已与太阳能电池晶圆的盒输送装置连接的太阳能电池的晶圆纹理 装置400。在太阳能电池的晶圆纹理装置400中，利用盒输送装置的装填机自动地供应已接 收晶圆的盒50，以及在纹理完成后利用卸载机200收回此盒50的程序重复进行。盒输送装置的装填机100安装在纹理装置400的前部，且已接收晶圆的盒50被装 填机100输送至前处理单元410。此前处理单元410在晶圆纹理前移除例如外来物质的污染物。举例来说，此前处 理单元410可由物理或化学处理来移除污染物。在本实施例中，此前处理单元410可实施 一个研磨程序，且可包含用于研磨程序的表面平整单元(surface smoothing unit)。前处 理单元410由处理晶圆的切割损害去除(saw damage removal ；SDR)以移除污染物也是可 行的。安装在前处理单元410后面为一个纹理单元420，其包含贮存有纹理溶液的多个 处理槽422。处理槽422 (参见图6)为一个批次浸洗型式槽(batch-dip type bath)，其中 盒50相继地浸洗于处理槽422中以纹理在浸洗盒50内的晶圆。在贮存纹理溶液的处理槽422后面，纹理单元420也可包含一个清洗单元424以 中和附着于晶圆上的纹理溶液。安装于纹理单元420的后面为一个后处理单元430，用以移除附着于已纹理晶圆 上的纹理溶液。后处理单元430可包含执行洗涤作业的一个洗涤单元432，以及将已洗涤的晶圆 烘干的烘干单元436。洗涤单元432喷洒洗涤液至晶圆，且洗涤液可洗去附着于晶圆上的纹理溶液。可 在洗涤液中使用去离子水，且可将去离子水加热，以增加洗涤效率。烘干单元436用以供应热空气至内部，且晶圆上的水可被热空气烘干及移除。烘干单元436也可包含一个空气室438，以增加烘干效率。此空气室438可包含一 个门，此门具有(已接收晶圆之)盒50可进出的开口。此门可包含关闭此开口的关闭物。此关闭物可为滑动式或转动式。此外，烘干单元436在其入口处也可包含滑动开及关的双重关闭物。在烘干单元 436的入口处安装双重关闭物可预防已加热的空气进入洗涤单元432或纹理单元420，因此 每一制程的温度状况可维持稳定。此纹理装置400包含一个输送部450以相继地输送由装填机100所供应的盒50。图6为根据本发明一实施例的太阳能电池的晶圆纹理装置400的侧视图，以及图 7为根据本发明一实施例，说明太阳能电池的晶圆纹理装置400的一输送部的透视图。参阅图6及7，输送部450可安装于盒50的移动线上，移动线依序连接前处理单元 410、纹理单元420及后处理单元430，或者在前处理单元410、纹理单元420及后处理单元 430每一个内皆安排一个输送部也是可行的。举例来说，在此实施例中可有多个输送部，且每一个输送部450在前处理单元 410、纹理单元420及后处理单元430各自可为模组型式。因此，在此实施例中当前处理单 元410、纹理单元420及后处理单元430连接时，每一个输送部450会互相连接，因而形成整 体移动路径。在输送部450中，沿移动线配置一个轨道452，以及安装沿轨道452移动的输送单 元 454。输送单元454沿轨道452来回一个预定距离，且一个可抬升的处理器456，安装于 输送单元454的一侧。用以耦合盒50的环458形成于处理器456的末端部。当盒50与处理器456耦合时，此输送单元454移动一预定距离，且抬升及降低此 处理器456以将盒50浸洗于贮存有纹理溶液的处理槽。此处理器456可移动多个盒50，举例来说，二个盒50钩于处理器456的二侧。输送部450的结构并不限于此处所描述，利用输送带来输送盒也是可行的。在一个实施例中，输送带可安装于烘干单元436中，因此，已接收晶圆的盒50可连 续地以一预定高度移动。图8为根据本发明的一实施例，说明太阳能电池的晶圆纹理装置400的已接收在 盒内的晶圆的侧视图。参阅图8，在盒50中，侧板52、54以某距离分开设置且互相面对。在盒50的侧板 52、54内，一个挂钩槽58形成于相对应环458的位置，用以与处理器456耦接。在一个范例中，此实施例的挂钩槽58可形成为挂钩的形状。再者，挂钩槽58及环 458可配置为多个。举例来说，可有二个挂钩槽58及二个环458，因此盒50与处理器456 的耦合将变的牢固。此外，二个下支撑件56a、56b可安装在侧板52、54下部的每一面。下支撑件56a、 56b支撑晶圆60的二个下角。因此，接收在盒50内的晶圆60会维持一个倾斜位置。再者，一个上支撑件56c可安装在侧板52、54上部的一侧。此上支撑件56c支撑 晶圆60的一个上角，且当晶圆传送时预防其掉落。安装在盒50内的下支撑件56a、56b及上支撑件56c支撑晶圆60三个不同的角， 因此晶圆60可以以倾斜位置接收。因此，盒50可牢固地接收晶圆60，且当已接收晶圆的盒50在浸洗于处理槽422之后，自处理槽422抬升及移开时，晶圆60上的纹理溶液可快速地流至倾斜晶圆60的角。由 于下支撑件56a、56b与晶圆60为点接触或线接触，与晶圆的接触面积可为最小。因为上述结构，通过在倾斜位置接收晶圆60，纹理溶液可易于流下，且因此残留在 晶圆60上的纹理溶液可为最少。在后处理单元430中已完成洗涤和烘干的晶圆随着输送部450运送此盒50而提 供至卸载机200。卸载机200与装填机100实质相同，且在晶圆与盒50分离后，供应此盒50至送回 机300，因此盒50可送回至装填机100。为此，卸载机200安装于后处理单元430的后部。一旦盒50自后处理单元430的 烘干单元436出来，卸载机200的一个支架会夹持此盒50。接着，此二轴旋转单元及三轴输 送单元会操作以将盒50放置于晶圆分离位置。此处，可通过操作员或通过具有吸臂的分离 装置将晶圆分离。接着，晶圆分离的盒50通过卸载机200移动至盒送回位置，且接着通过送回机300 送回至盒供应位置，以供应回装填机100。上述制程可重复进行。至此，已描述本发明一些实施例。然而，本发明所属领域中任何熟悉此项技术的应 了解，在不悖离本申请所揭露于申请专利范围中的本发明的技术构想及范围下，本发明可 有许多置换及修改。但是，上述的具体实施方式
只是示例性的，是为了更好的使本领域技术人员能够 理解本专利，不能理解为是对本专利包括范围的限制；只要是根据本专利所揭示精神的所 作的任何等同变更或修饰，均落入本专利包括的范围。
权利要求
1. 一种输送装置，用以供应及收回一盒至一纹理装置以及自该纹理装置供应及收回该 盒，一太阳能电池晶圆已接收于该盒内，其特征在于该装置包含一装填机，用以移动所述盒至一晶圆接收位置，以及移动及供应所述盒至所述纹理装置；一卸载机，当所述晶圆在所述纹理装置纹理完成后，移动所述盒至一晶圆分离位置，且 将晶圆分离的所述盒移动至一盒送回位置；以及一送回机，用以将所述卸载机供应的所述盒送回至所述装填机。
2.如请求项1所述的输送装置，其特征在于所述送回机安装于所述盒的一移动线的 一上部。
3.如请求项2所述的输送装置，其特征在于所述送回机包含一输送带。
4.如请求项2所述的输送装置，其特征在于所述送回机包含 一直线模组，用以在所述装填机及卸载机间往复运动；以及 一装载板，安装于所述直线模组，所述盒安装于该装载板上。
5.如请求项1至4项中任一项所述的输送装置，其特征在于所述装填机及卸载机包含一框架；一输送机械臂，包含一三轴输送单元及一二轴旋转单元，该三轴输送单元安装于所述 框架内，用以在三轴方向移动所述盒，该二轴旋转单元安装于该三轴输送单元内，用以在二 轴方向旋转所述盒；以及一支架，安装于所述二轴旋转单元，用以夹持所述盒。
6.一种晶圆纹理装置，用于一太阳能电池，其特征在于包含一装填机，用以移动一盒至一晶圆接收位置且装载所述盒，一晶圆已接收于所述盒内；一前处理单元，安装于所述装填机的后面，用以前处理接收在所述盒内的所述晶圆； 一纹理单元，利用一纹理溶液将所述前处理单元内前处理的所述晶圆的一表面上形成纹理；一后处理单元，用以移除在所述纹理单元中附着在所述晶圆上的所述纹理溶液； 多个输送部，依序安装在所述前处理单元、纹理单元以及后处理单元，用以输送所述装 填机所装载的所述盒；一卸载机，用以移动在所述后处理单元中后处理的所述盒至一晶圆分离位置，以及当 晶圆完成分离时，移动所述盒至一盒送回位置；以及一送回机，用以将所述卸载机供应至一送回位置的所述盒送回至所述装填机。
7.如请求项6所述的晶圆纹理装置，其特征在于更包含一贮存单元在所述前处理单 元或后处理单元的一下末端，该贮存单元用以贮存所述盒。
8.如请求项6所述的晶圆纹理装置，其特征在于所述盒包含一对侧板，互相面对设置，一挂钩槽形成于每一该侧板的一上末端，用以与所述输送部 的一处理机悬挂；多个下支撑件，以连接所述侧板的二下部而安装，用以支撑所述晶圆的二下角；以及一上支撑件，以连接所述侧板的一上部而安装，用以支撑所述晶圆的一上角。
9.如请求项6所述的晶圆纹理装置，其特征在于所述送回机依序地安装于所述前处 理单元、纹理单元以及后处理单元内。
10.如请求项6所述的晶圆纹理装置，其特征在于所述送回机安装于所述输送部的一 上部。
11.如请求项10所述的晶圆纹理装置，其特征在于所述送回机包含一输送带。
12.如请求项10所述的晶圆纹理装置，其特征在于所述送回机包含 一直线模组，用以在所述装填机及卸载机间往复运动；以及一装载板，安装于所述直线模组，所述盒安装于所述装载板上。
13.如请求项6至12项中任一项所述的晶圆纹理装置，其特征在于所述装填机及卸 载机包含一框架；一输送机械臂，包含一三轴输送单元及一二轴旋转单元，该三轴输送单元安装于所述 框架内，用以在三轴方向移动所述盒，该二轴旋转单元安装于该三轴输送单元内，用以在二 轴方向旋转所述盒；以及一支架，安装于所述二轴旋转单元，用以夹持所述盒。
全文摘要
本发明公开一种用于太阳能电池晶圆的盒输送装置及利用此盒输送装置的太阳能电池的晶圆纹理装置。依据本发明的一实施例，用以供应及收回已接收太阳能电池晶圆的盒至一纹理装置以及自纹理装置供应及收回此盒的此输送装置可包含一装填机，用以移动该盒至一晶圆接收位置，以及移动及供应该盒至该纹理装置；一卸载机，当晶圆在纹理装置纹理完成后，移动该盒至一晶圆分离位置，且将晶圆分离的盒移动至一盒送回位置；以及一送回机，用以将卸载机供应的盒送回至装填机。利用根据本发明的太阳能电池的盒输送装置，作业变的更简单且所需人力更少，且在输送期间可预防晶圆的损坏及制程缺陷发生。
文档编号H01L21/677GK102005499SQ20101025831
公开日2011年4月6日 申请日期2010年8月20日 优先权日2009年8月28日
发明者丁春锡, 朴智彬, 朴胜一, 许闰成 申请人:Snt能源技术有限公司