技术编号:6952037
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种一边平流输送(以水平姿势输送)被处理基板一边对上述被处理 基板实施热处理的热处理装置。背景技术例如在制造FPD (平板显示器)时,利用所谓的光刻工序形成电路图案。详细而言,该光刻工序如下所述当在玻璃基板等被处理基板上成膜了规定的 膜之后,涂敷作为处理液的光致抗蚀剂(以下称作抗蚀剂)而形成抗蚀膜,与电路图案相 对应地使抗蚀膜曝光,然后对其进行显影处理。但近年来,在该光刻工序中,出于提高生产率的目的,多采用下述结构一边 以大致水平姿势的状态输送被...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。