技术编号:6952065
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于半导体装置,且特别是有关于金属栅极晶体管、集成电路、系统及其制造方法。背景技术半导体集成电路(integrated circuit, IC)产业近年来快速地成长,IC材料及IC 设计方面技术的进展,产生了许多不同世代的集成电路。随着集成电路的演进,新一代的集成电路中具有更小、更复杂的电路。在集成电路演进的过程中,同时亦增加了处理及制造集成电路的复杂度。为了实现更新一代的集成电路,处理及制造集成电路方法也必须随之进化。在集成电路的演进过程中,功...
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