技术编号:6954162
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开一种用于紫外探测的半导体传感器及这种传感器的制备方法,本发明 属于紫外光探测技术范畴。本发明的半导体紫外探测传感器是一种使用氧化锌纳米线阵列 集成化的紫外光探测器。背景技术紫外探测作为一种有广阔应用前景的军民两用技术,20世纪80年代后期就已经 开始了大量的研究和应用。在军事方面,1991年在海湾战争中投入使用的美海军C-130S直 升机和P-3S运输机上就有世界上第一台紫外线告警器AAR-47,并且美国还在持续投入人 力物力大力研发紫外传感器技...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。