技术编号:6958687
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种射频MEMS开关。 背景技术目前所制作的带有触点的MEMS开关,通常采用单个或单列触点,当开关工作一定 时间,由于频繁的击打,金属表面会发生腐蚀,触点会引起变形,从而导致开关触点不能与 信号线很好地接触,最终导致失效,减小了开关的寿命。发明内容发明目的为了克服现有技术中存在的不足,本发明提供一种含有鲨齿式触点系 统的射频MEMS开关,以提高射频MEMS开关的寿命。技术方案为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案为一种含有鲨齿式触点系统的射频M...
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